用語
J-GLOBAL ID:201906001011269389
スパッタエピタキシー法
主題カテゴリー:
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用語の主な分野です
物質の構造
同義語 (1件):
スパッタエピタクシー法
(sputter epitaxy method)
スパッタエピタクシー法 について
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上位語 (2件):
スパッタ蒸着
(sputtered deposition)
スパッタ蒸着 について
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エピタクシー
(epitaxy)
エピタクシー について
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