上田伸治

ウエダシンジ | Ueda Shinji

所属機関・部署：
職名：准教授
ホームページURL (1件)： http://www2.ashitech.ac.jp/elec/ueda/index.html

研究分野 (1件)：制御、システム工学

研究キーワード (5件)：半導体露光装置 , ガルバノスキャナ , エンコーダ , 高速高精度位置決め , モーションコントロール

論文 (7件)：

Shinji Ueda, Yukie Kuroki, Mitsuo Hirata. Trajectory Design of Galvano Scanner Considering Voltage Constraint of Current Amplifier. ELECTRICAL ENGINEERING IN JAPAN. 2017. 198. 1. 54-64
Final-State Control for a Galvano Scanner: Minimizing Mirror Vibration in an Inclined Direction Relative to the Rotation Axis. IEEE Conference on Decision and Control,. 2017. 3289-3294
上田伸治, 平田光男. ミラーの倒れ応答を考慮したガルバノスキャナのためのフィードフォワード入力設計法. 電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌. 2016. 136. 11. 851-860
Hirofumi Sekine, Shinji Ueda, Masayasu Suzuki, Mitsuo Hirata. System Identification of a Galvano Scanner Using Input-Output Data Obtained from Positioning Control. 2015 EUROPEAN CONTROL CONFERENCE (ECC). 2015. 1297-1302
上田伸治, 黒木幸恵, 平田光男. 電流アンプでの電圧飽和を考慮したガルバノスキャナの軌道設計法. 電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. D, A publication of Industry Applications Society. 2013. 133. 1. 10-19

特許 (43件)：

講演・口頭発表等 (15件)：

学歴 (2件)：

学位 (1件)：

経歴 (3件)：

委員歴 (3件)：

所属学会 (2件)：

計測自動制御学会 , 電気学会

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上田 伸治