- 2017 - 2020 機械加工面用オンマシンナノプロファイラデバイスの開発
- 2016 - 2017 高品位機械加工面創成のための加工計測用MEMSデバイスの開発
- 2013 - 2016 機械平面形状計測のための多点変位同時測定デバイスの開発
- 2010 - 2012 ジメチルエーテルをプロペラントとするアークジェット推進機とそのデュアルモード化
- 2010 - 2012 運動誤差測定用3点法マイクロプローブユニットの開発と新調整アルゴリズムの実証
- 2006 - 2008 次世代マイクロダイヤモンドツールの3Dナノメートルエッジ形状の高速高精度計測
- 2002 - 2006 次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発
- 2004 - 2005 ナノチューブを用いた次世代3次元ピコインデンターチップに関する研究
- 2004 - 2005 法線方向照射型レーザーオートコリメーション法による複雑曲面形状測定装置の開発
- 2003 - 2004 形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成
- 2002 - 2003 マイクロ角度センサアレイを用いた微小癌触診用小型硬さ分布測定プローブの開発
- 2000 - 2002 次世代400mmシリコンウエハ平坦度の自律的超精密測定システムの開発
- 1999 - 2001 角度情報をベースとする多自由度位置・姿勢検出法の研究
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