- 2021/06 - 応用物理学会 フェロー
- 2019/10 - IEEE RADECS 2018 Best Conference Paper Award
- 2019/01 - IEEE Fellow
- 2018/11 - 第66回電気科学技術奨励会会長賞、及び電気科学技術奨励賞
- 2013/03 - 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 第4回 論文賞
- 2012/03 - The Best Poster Award at The Eighth International Nanotechnology Conference on Communication and Cooperation
- 2010/08 - IEEE Senior member
- 2009/03 - 日本電気株式会社 優秀発明賞
- 2005/03 - 日本電気株式会社 貢献賞一級
- 1999/02 - 慶應義塾大学 藤原賞
- 1997/02 - 日本化学会 講演奨励賞
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