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J-GLOBAL ID：202002210703914021   整理番号：20A1610037

精密位置決め技術の最新動向と要素技術を活かした設計への展開 PART1 最新の位置決め技術 解説1 精密位置決めのための多軸センサ活用

著者 (3件)： 清水裕樹 (東北大 大学院工学研究科) ,  松隈啓 (東北大 大学院工学研究科) ,  高偉 (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 機械設計  (Machine Design)
巻： 64  号： 9  ページ： 9-13  発行年： 2020年08月01日 
JST資料番号： G0863A  ISSN： 0387-1045  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・超精密位置決めシステムに広く用いられる位置決めセンサの代表として,回折光干渉型リニアエンコーダの原理について紹介。
・最新の超精密多軸位置決めセンサである3軸変位センサと3軸角度センサの原理について述べるとともに,それらの融合で実現する6軸サーフェスエンコーダを紹介。
・2軸スケール格子の大面積一括露光の実現に向け,光干渉リソグラフィの原理に立脚した一括露光システムが提案されており,非直交型2軸ロイドミラー干渉計による一括露光について紹介。

シソーラス用語： *位置決め ,  位置制御 ,  精密化 ,  位置決め装置 ,  超精密加工 ,  *多軸 ,  位置センサ ,  回折格子 ,  光干渉 ,  変位測定 ,  リソグラフィー ,  *精密位置決め ,  *リニアエンコーダ ,  *変位センサ
準シソーラス用語： 光干渉リソグラフィー

分類 (3件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 精密位置決め ,  最新動向 ,  要素技術 ,  設計 ,  展開 ,  多軸 ,  活用