文献

J-GLOBAL ID：202002211138162314   整理番号：20A1156757

二重プローブ複合型マイクロナノメータの開発【JST・京大機械翻訳】

Development of double probe composite micro-and nano measuring instrument

著者 (5件)： Wu Junjie (上海市計量測試技術研究院机械与制造計量技術研究所,上海201203;哈爾浜工業大学儀器科学与工程学院,黒竜江哈爾浜150001) ,  Liu Jian (哈爾浜工業大学儀器科学与工程学院,黒竜江哈爾浜,150001) ,  Wei Jiasi (上海市計量測試技術研究院机械与制造計量技術研究所,上海,201203) ,  Fu Yunxia (上海市計量測試技術研究院机械与制造計量技術研究所,上海,201203) ,  Li Yuan (上海市計量測試技術研究院机械与制造計量技術研究所,上海,201203)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 28  号： 2  ページ： 415-423  発行年： 2020年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 現在のマイクロナノ測定に存在する広範囲の高精度測定及び複雑な微細構造の幾何パラメータ特性化の難題に対して、マルチプローブセンシングと精密位置決めプラットフォーム多重化技術に基づいて、多種の測定尺度と測定モードを有する複合型マイクロナノ測定装置を開発した。広範囲にわたる高速走査測定および小範囲精密測定機能を持たせるために、計器は白色光干渉と原子間力顕微鏡の二種類の測定装置を集成し、2種類のプローブ統合の橋架け構造とマクロ/マイクロ2段駆動位置決めプラットフォームの設計を通じて、整機の開発を実現した。計測結果の精度とトレーサビリティを保証するために,標準テンプレートを用いて開発した装置を較正した。装置搭載の白色光干渉プローブは横方向500nm、縦方向1nmの分解能を達成でき、原子間力顕微鏡プローブの横方向と縦方向分解能はいずれも1nmに達することができる。最後に、目標器具を用いて微小球サンプルを測定し、広範囲画像と小範囲精密スキャンにより、微小球の表面特徴を獲得し、機器が複雑な微細構造の測定能力を検証した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 干渉 ,  幾何学 ,  計測器 ,  微細構造 ,  プローブ ,  分解能 ,  位置決め ,  光干渉 ,  *多重化 ,  白色光 ,  トレーサビリティ ,  キャラクタリゼーション ,  ミクロスフェア ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： ハイブリッド型 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 二重プローブ ,  複合型 ,  ナノメータ ,  開発