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J-GLOBAL ID：202002212002510667   整理番号：20A1898768

静電駆動曲がり梁の大振動【JST・京大機械翻訳】

Large oscillation of electrostatically actuated curved beams

著者 (7件)： Alneamy A M (Department of Systems Design Engineering, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada) ,  Alneamy A M (Department of Mechanical Engineering, Jazan University, Jazan, Saudi Arabia) ,  Khater M E (Department of Mechanical Engineering, King Fahd University of Petroleum and Minerals (KFUPM), Dhahran, Saudi Arabia) ,  Al-Ghamdi M S (National Center for Electronics and Photonics, King Abdulaziz City for Science and Technology (KACST), Riyadh, Saudi Arabia) ,  Abdel-Aziz A K (Department of Systems Design Engineering, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada) ,  Heppler G R (Department of Systems Design Engineering, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada) ,  Abdel-Rahman E M (Department of Systems Design Engineering, University of Waterloo, Waterloo, ON, Canada)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 30  号： 9  ページ： 095005 (12pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 静電励起を受ける初期湾曲マイクロビームの応答を調べた。Euler-Bernoulli梁理論を用いて,運動の支配方程式を導いた。Galerkin展開における基底関数として直線ビームモード形状を用いて運動方程式を離散化することにより,縮小次数モデルを開発した。結果は,一次共鳴に加えて秩序3と2の超調和共鳴の証拠を示した。多重安定軌道の共存は,1つの安定平衡と,スナップバック電圧より少ないRMS電圧の励起波形の下で観察された。これらの分岐は,狭いポテンシャル井戸内の小軌道の分岐と,より広いポテンシャル井戸内の中規模と大きな軌道の2つの分岐である。それらの間の遷移は,周波数応答曲線に現れる二重ピークの特性をもたらした。また,中間サイズの分岐に沿った気泡構造は,周期二重分岐のカスケードと逆周期二重分岐のカスケードから成る。カオスアトラクタは,より大きな励起レベルでその構造内で発達する。それは,広いベーススペクトルと高いノイズフロアを有するカオスの証拠を示す。Odd周期窓も,周期3(P-3),周期5(P-5)および周期6(P-6)窓を含むアトラクタ内に現れた。カオスアトラクタは,周期4(P-4)軌道と周期2(P-2)軌道の逆周期二重分岐のカスケードで終了する。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 運動方程式 ,  気泡 ,  共鳴 ,  雑音 ,  周波数応答 ,  電圧 ,  励起 ,  スペクトル ,  多重化 ,  *曲がり梁 ,  アトラクタ ,  カオス
準シソーラス用語： 支配方程式 ,  離散化 ,  マイクロビーム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 静電駆動 ,  曲がり梁