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J-GLOBAL ID：202002212045112516   整理番号：20A0470756

多相空気流や超音波浮揚による薄板の非接触搬送 クリーン環境における薄板搬送

著者 (1件)： 古谷克司 (豊田工大)
資料名： 油空圧技術  (Hydraulics & Pneumatics)
巻： 59  号： 3  ページ： 13-17  発行年： 2020年03月01日 
JST資料番号： G0877A  ISSN： 0914-6253  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・クリーンな環境が要求されるガラス基板や半導体ウエハの搬送現場では,非接触な搬送法が望まれ,薄板の非接触搬送法として,超音波浮揚を用いた二次元搬送法と,多相空気流を用いた一次元搬送法を紹介。
・超音波浮揚を用いた方法では,スクイーズ効果によりガイドなしでも被搬送物が搬送範囲を外れることがないことが利点で,分岐,方向転換部に有効。
・多相空気流を用いる方法では,超音波を用いるよりも少ないエネルギーで搬送できることが利点で,直線部分に有効。

シソーラス用語： *薄板 ,  クリーンルーム ,  ウエハ【IC】 ,  超音波 ,  *振動子 ,  インピーダンス整合 ,  負圧 ,  *空気流 ,  ガラス基板 ,  正圧 ,  *超音波浮揚 ,  直線路 ,  半導体ウエハ ,  *非接触搬送 ,  分岐点 ,  *絞り膜作用
準シソーラス用語： *スクイーズ作用

分類 (1件)： その他の荷役・運搬機械  (QE01040B)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多相 ,  空気流 ,  音波浮揚 ,  薄板 ,  非接触搬送 ,  クリーン ,  環境