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J-GLOBAL ID:202002213046975314   整理番号:20A1081542

化学浴堆積により堆積したγ-MnS薄膜の物理的性質に及ぼす基板の影響【JST・京大機械翻訳】

The effects of substrate on the physical properties of gamma-MnS thin films deposited by chemical bath deposition
著者 (4件):
資料名:
巻: 588  ページ: Null  発行年: 2020年 
JST資料番号: H0676B  ISSN: 0921-4526  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ガンマ-MnS薄膜を,化学浴析出(CBD)法により,40°Cの温度でガラスと酸化インジウムスズ(ITO)基板上に蒸着した。XRD測定により,γ-MnS膜はウルツ鉱相で多結晶であり,c軸に沿って優先配向を示すことが明らかになった。ガラスとITO上に堆積した膜の粒径は,それぞれ327nmと189nmと計算された。ガラスとITO上に蒸着した膜のエネルギーバンドギャップもそれぞれ3.56eV,3.74eVと計算した。可視領域(400~700nm)でのγ-MnSの屈折率は,ガラスとITO基板でそれぞれ2.1と1.63と測定された。Hall測定により,γ-MnS膜はn型伝導率を示し,ガラスとITO基板上に堆積したγ-MnS膜の抵抗率はそれぞれ7.1×10~5Ωcm,3.04×10~2Ωcmと測定された。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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酸化物薄膜 
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