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J-GLOBAL ID：202002213136105744   整理番号：20A0014864

広い可変周波数範囲を持つ外部共振器ダイオードレーザを用いた光学圧力測定システムの開発【JST・京大機械翻訳】

Development of an optical pressure measurement system using an external cavity diode laser with a wide tunable frequency range

著者 (6件)： Takei Yoshinori (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), AIST 3, Umezono, Tsukuba 305-8563, Japan) ,  Arai Kenta (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), AIST 3, Umezono, Tsukuba 305-8563, Japan) ,  Yoshida Hajime (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), AIST 3, Umezono, Tsukuba 305-8563, Japan) ,  Bitou Youichi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), AIST 3, Umezono, Tsukuba 305-8563, Japan) ,  Telada Souichi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), AIST 3, Umezono, Tsukuba 305-8563, Japan) ,  Kobata Tokihiko (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), AIST 3, Umezono, Tsukuba 305-8563, Japan)
資料名： Measurement  (Measurement)
巻： 151  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0315B  ISSN： 0263-2241  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学圧力測定システムは真空から高圧までの圧力を単一装置で正確に測定できる。しかし,測定を中断することなく連続的に測定可能な範囲は1kPa以下に制限される。本研究では,広い連続測定可能範囲を有する光学圧力測定システムを開発した。光源としてLittrow外部共振器ダイオードレーザを用いることにより窒素ガスを用いるとき,光学系は18kPaの圧力範囲を連続的に測定できる。最初に,真空から大気圧までの離散圧力点を測定した。測定値間の差の再現性と非線形性は,それぞれ0.1Paと0.5Paの標準偏差を有した。次に,91kPaから109kPaまでの圧力範囲を連続的に測定した。結果は,圧力の関数としてのゲージの線形特性が,著者らの光学圧力測定システムを用いて正確に評価できることを示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 非線形性 ,  量子論 ,  標準偏差 ,  *圧力測定 ,  屈折分析 ,  光学系 ,  ゲージ ,  連続計測 ,  再現性 ,  *半導体レーザ ,  線形性 ,  光源
準シソーラス用語： *外部共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 圧力計測 ,  真空標準 ,  量子論 ,  光学的圧力測定 ,  屈折率測定Fabry-Perot

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 外部共振器 ,  ダイオードレーザ ,  光学 ,  圧力測定 ,  開発