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J-GLOBAL ID：202002214028470900   整理番号：20A1033541

Zr-O-N薄膜の包括的セットを用いたIR放射測定による薄膜の熱的性質の評価に関する追加情報のためのデータセット【JST・京大機械翻訳】

Dataset for additional information on the evaluation of thermal properties of thin films by IR radiometry using a comprehensive set of Zr-O-N thin films

著者 (5件)： da Silva-Oliveira C.I. (Center of Physics, University of Minho and Porto, Braga, Portugal) ,  Martinez-Martinez D. (Center of Physics, University of Minho and Porto, Braga, Portugal) ,  Couto F.M. (Federal University of Espirito Santo, Chemistry Physics Dept., Campus Alegre, Brazil) ,  Cunha L. (Center of Physics, University of Minho and Porto, Braga, Portugal) ,  Macedo F. (Center of Physics, University of Minho and Porto, Braga, Portugal)
資料名： Data in Brief  (Data in Brief)
巻： 29  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： W3049A  ISSN： 2352-3409  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,Zr-O-N薄膜の包括的セットを用いたIR放射測定による薄膜の熱的性質の紙評価に関する付加的な負のデータを提供した。本論文では,試料のマトリックスを調製し,赤外(IR)放射測定データの分析のためのいわゆる極値法を評価した。そのようなマトリックスは,3種類の基板において4つの異なる厚さを有する3つのタイプの膜によって構成されて,全部で36のサンプルを集計した。本論文のデータは,1)テフロン上に蒸着した膜の付着の欠如,2)測定の初期(より従来の)方法を用いて極値(最小または最大)を示さない試料の信号と信号対雑音比の改善,3)絡み合った材料パラメータで作られたIR放射測定データの失敗したフィッティングを示した。このすべてのデータは,2層モデルと極値法を用いたIR放射測定による薄膜の熱的性質の測定に関する研究者に関連している。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： SN比 ,  赤外線 ,  *薄膜 ,  *ジルコニウム ,  *熱特性 ,  *放射測定
準シソーラス用語： 材料パラメータ ,  二層 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (8件)： IR放射測定 ,  逆較正IR位相遅れ信号 ,  Zr ,  熱的性質 ,  マグネトロンスパッタリング ,  フィルム ,  2層モデル ,  極値法

分類 (2件)： 年代測定  (DD01050W) ,  赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W)

タイトルに関連する用語 (7件)： Zr ,  薄膜 ,  Ir ,  放射測定 ,  熱的性質 ,  評価 ,  データセット