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J-GLOBAL ID：202002214746424388   整理番号：20A2347719

無線炭素加熱管を用いたマイクロ波誘導急速加熱システムの開発【JST・京大機械翻訳】

Development of Microwave-Induced Rapid Heating System Using Wireless Carbon Heating Tubes

著者 (8件)： Miyazaki Tomoyoshi (Tokyo University of Agriculture and Technology, Graduate School of Engineering,Tokyo,Japan,184-8588) ,  Seki Ryota (Tokyo University of Agriculture and Technology, Graduate School of Engineering,Tokyo,Japan,184-8588) ,  Uehara Takuma (Tokyo University of Agriculture and Technology, Graduate School of Engineering,Tokyo,Japan,184-8588) ,  Arima Takuji (Tokyo University of Agriculture and Technology, Graduate School of Engineering,Tokyo,Japan,184-8588) ,  Hasumi Masahiko (Tokyo University of Agriculture and Technology, Graduate School of Engineering,Tokyo,Japan,184-8588) ,  Kobayashi Go (ORC MANUFACTURING Co., Ltd.,Chino,Japan,391-0011) ,  Serizawa Izumi (ORC MANUFACTURING Co., Ltd.,Chino,Japan,391-0011) ,  Sameshima Toshiyuki (Tokyo University of Agriculture and Technology, Graduate School of Engineering,Tokyo,Japan,184-8588)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： AM-FPD  ページ： 7-10  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭素粒子とArガスを充填した330mm長の石英管から成る炭素加熱管(CHTs)による2.45GHzマイクロ波誘導加熱システムを報告する。CHTsにマイクロ波を効果的に導入するために金属空洞を開発した。数値計算は,直径330mmの空洞に配置したCHTsによるマイクロ波の効果的な吸収を示した。1000°C以上で200S/mのCHTsを加熱して実験的に実証した。結晶シリコン中の1.0x1015cm-2リン注入表面領域は活性化され,シート抵抗は80%の活性化比で78Ω/sqに減少した。光誘起有効少数キャリア寿命はイオン注入により誘起された欠陥の減少のため120μsに増加した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 数値計算 ,  *マイクロ波 ,  *炭素 ,  誘導加熱 ,  イオン注入 ,  *急速加熱 ,  加熱管 ,  シート抵抗 ,  光誘起 ,  少数キャリア寿命 ,  結晶性シリコン
準シソーラス用語： *ワイヤレス ,  結晶シリコン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (7件)： 無線 ,  炭素 ,  加熱管 ,  マイクロ波 ,  誘導 ,  急速加熱 ,  開発