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J-GLOBAL ID：202002215332112649   整理番号：20A1884660

高圧電ScAlN膜/高速石英基板を伝搬する漏れ弾性表面波特性の解析

Analysis of leaky surface acoustic wave characteristics propagating on high piezoelectric ScAlN film/high velocity quartz substrate

著者 (2件)： Suzuki Masashi (Graduate Faculty of Interdisciplinary Research, University of Yamanashi, Kofu, Yamanashi, 400-8511, Japan) ,  Kakio Shoji (Graduate Faculty of Interdisciplinary Research, University of Yamanashi, Kofu, Yamanashi, 400-8511, Japan)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 59  号： SK  ページ： SKKC07 (5pp)  発行年： 2020年07月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近,高速石英基板に結合した圧電LiNbO₃およびLiTaO₃薄板上の漏れ弾性表面波(LSAW)および縦LSAWは,大位相速度,高結合および低減衰特性を有することが報告されている。これらは,次世代SAWフィルタに高周波動作,広帯域幅,高Q因子をもたらす。さらに,著者らは,高圧電ScAlN膜/石英基板上の縦LSAWも,大位相速度,高結合および低減衰特性を有することを理論的に示した。本論文では,ScAlN膜/石英基板上のLSAW特性を理論的に調べた。ScAlN膜および石英基板のEuler角と膜厚をLSAWに対して最適化したとき,(0°90°72°)Sc_0.4Al_0.6N膜/(0°128.5°0°)石英を有するLSAW共振器は~21610の高いQ因子および~5.8%の高い結合を有することが分かった。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *SAWフィルタ ,  *弾性表面波 ,  *基板 ,  Q値 ,  広帯域 ,  *石英基板

分類 (1件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧電 ,  石英基板 ,  伝搬 ,  漏れ ,  弾性表面波 ,  解析