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J-GLOBAL ID：202002215491103957   整理番号：20A1250383

高紫外線透明SrVOx/Ag系導電性電極の形成【JST・京大機械翻訳】

Formation of high ultraviolet transparent SrVOx/Ag-based conducting electrode

著者 (6件)： Kim Su-Kyung (Department of Materials Science and Engineering, Korea University, Seoul, 02841, Republic of Korea) ,  Cho Jin-Woo (Department of Applied Physics, Kyung Hee University, Gyeonggi-do, 17104, Republic of Korea) ,  Im Hyeong-Seop (Department of Materials Science and Engineering, Korea University, Seoul, 02841, Republic of Korea) ,  Lim Weon-Cheol (Advanced Analysis Center, Korea Institute of Science and Technology, Seoul, 02792, Republic of Korea) ,  Kim Sun-Kyung (Department of Applied Physics, Kyung Hee University, Gyeonggi-do, 17104, Republic of Korea) ,  Seong Tae-Yeon (Department of Materials Science and Engineering, Korea University, Seoul, 02841, Republic of Korea)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 46  号： 11 PB  ページ： 19484-19490  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スパッタ蒸着SrVO_xを用いて透明導電性SrVO_x/Ag/SrVO_x膜を作製し,それらの光電気特性をSrVO_xとAg厚さの関数として調べた。SrVO_x/Ag/SrVO_x膜における15から45nmまでのSrVO_x膜の厚さの増加により,キャリア濃度,シート抵抗,および電子移動度は,それぞれ2.0×10~22~1.03×10~22cm-3,3.15~2.76Ω/sq.および21.99~19.76cm2/Vsの範囲であった。25nm厚のSrVO_xベースの多層は,91.5%の最も高い平均透過率(T_av)を与えた。25nm厚のSrVO_xベースの多層膜は,144.5×10-3Ω-1の最大Haacke性能指数(FOM)を与えた。Ag層厚が9から21nmに増加すると,多層のキャリア濃度,移動度およびシート抵抗はそれぞれ1.05×10~22~1.99×10~22cm~3,15.56~22.46cm~2/Vs,および1.97~6.48Ω/sq.の範囲であった。SrVO_x(25nm)/Ag/SrVO_x(25nm)多層のT_avは,Ag層厚とともに95.5から8%まで徐々に減少した。厳密結合波(RCW)シミュレーションを行い,SrVO_x(25nm)/Ag(15nm)/SrVO_x(25nm)試料の波長依存透過率特性を記述した。フェーザ試験に基づいて,多層の透過率特性に及ぼすSrVO_x膜厚の影響を記述し,議論した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 移動度 ,  *紫外線 ,  シミュレーション ,  *銀 ,  電気特性 ,  キャリア密度 ,  多層膜 ,  透過率 ,  層厚 ,  スパッタ蒸着 ,  シート抵抗 ,  波長依存性 ,  *導電性
準シソーラス用語： フェーザ ,  電子移動度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： SrVO_x ,  Ag層 ,  透明導電性電極 ,  紫外線透明性 ,  酸化物/金属/酸化物多層 ,  フェーザ解析

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 紫外線 ,  Ag ,  導電性