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J-GLOBAL ID：202002216734915850   整理番号：20A1414986

閉磁場非平衡マグネトロンスパッタリングにより蒸着した自己潤滑Mo-Se-C被覆の合成,微細構造および機械的性質【JST・京大機械翻訳】

Synthesis, microstructural and mechanical properties of self-lubricating Mo-Se-C coatings deposited by closed-field unbalanced magnetron sputtering

著者 (7件)： Vuchkov Todor (IPN - LED & MAT - Instituto Pedro Nunes, Laboratory for Wear, Testing and Materials, Rua Pedro Nunes, Coimbra, Portugal) ,  Vuchkov Todor (SEG-CEMMPRE, Department of Mechanical Engineering, University of Coimbra, Rua Luis Reis Santos, 3030-788 Coimbra, Portugal) ,  Yaqub Talha Bin (IPN - LED & MAT - Instituto Pedro Nunes, Laboratory for Wear, Testing and Materials, Rua Pedro Nunes, Coimbra, Portugal) ,  Yaqub Talha Bin (SEG-CEMMPRE, Department of Mechanical Engineering, University of Coimbra, Rua Luis Reis Santos, 3030-788 Coimbra, Portugal) ,  Evaristo Manuel (SEG-CEMMPRE, Department of Mechanical Engineering, University of Coimbra, Rua Luis Reis Santos, 3030-788 Coimbra, Portugal) ,  Cavaleiro Albano (IPN - LED & MAT - Instituto Pedro Nunes, Laboratory for Wear, Testing and Materials, Rua Pedro Nunes, Coimbra, Portugal) ,  Cavaleiro Albano (SEG-CEMMPRE, Department of Mechanical Engineering, University of Coimbra, Rua Luis Reis Santos, 3030-788 Coimbra, Portugal)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 394  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭素合金化遷移金属ジカルコゲン化物(TMD)被覆は,多様な動作環境において摩擦および摩耗低減を提供する能力によりトライボロジーの分野で注目されている。本研究は,自己潤滑性モリブデン-セレン-炭素(Mo-Se-C)被覆のための堆積プロセスのスケールアップに専念した。この目的のために,Mo-Se-Cナノ複合皮膜を,半工業的堆積ユニットにおける閉磁場非平衡マグネトロンスパッタリングにより堆積した。スパッタしたMoSe_x被覆への炭素の添加,負の基板バイアスの使用,およびターゲット対基板距離の影響を調べた。炭素添加は純MoSe_x被覆のコンパクト性と機械的性質を著しく改善する。堆積中の負の基板バイアスの利用によって追加の改良を達成した。最適化被覆は,特徴のない断面形態と非晶質X線回折構造を有した。透過型電子顕微鏡は,非晶質炭素マトリックス中に封入されたMoSe_2のナノサイズ微結晶の存在を明らかにした。ナノインデンテーションを通して測定した硬度は,ε>50at.%のC含有量およびコンパクトな形態を有する被覆に対して,ε>7~8GPaであった。往復ピンオンディスク試験の最良のトライボロジー特性は,周囲空気条件で0.08~0.09の摩擦係数と乾燥N_2環境および高温(200°C)で0.04~0.06の摩擦係数で特徴付けられる。最低比摩耗率は,周囲空気および乾燥N_2下,滑り中,2~3×10-7mm3/Nmであり,高温における試験中,7~10×10-7mm3/Nmの高い値であった。Mo-Se-C被覆は,低摩擦用途のための潜在的なトライボロジー特性を示す工業生産のためにスケールアップできる。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  高温 ,  最適化 ,  *磁場 ,  微結晶 ,  摩擦係数 ,  摩耗 ,  炭素 ,  *被覆 ,  *非平衡状態 ,  非晶質 ,  トライボロジー ,  合金化 ,  複合膜 ,  *自己潤滑

著者キーワード (4件)： マグネトロンスパッタリング ,  遷移金属ジカルコゲナイド ,  自己潤滑剤 ,  トライボロジー

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (9件)： 非平衡 ,  マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  自己潤滑 ,  Mo ,  Se ,  C被覆 ,  微細構造 ,  機械的性質