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J-GLOBAL ID：202002217024611459   整理番号：20A1759900

多製品半導体ファブのための拡張一般流れの可視化と凝集【JST・京大機械翻訳】

Augmented generic flow visualization and aggregation for a multi-product semiconductor fab

著者 (2件)： Winkler Thomas (GLOBALFOUNDRIES Dresden, Dresden, Germany) ,  Sprenger Ralf (GLOBALFOUNDRIES Dresden, Dresden, Germany)
資料名： ACM Proceedings  (ACM Proceedings)
号： WSC ’18  ページ： 3375-3385  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0698C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 現代の半導体工場事業は,同じ生産ラインを共有する異なる製品を多く含む。それらの各々が,潜在的に異なるマスク層,プロセスステップおよび専用ツールを有する異なる流れを持つので,良好な概観を得ることは容易ではない。さらに,シミュレーション結果の解析は,シミュレーション内のショップフロア上の材料の流れが理解するのが難しいので,難しい。ノードとエッジグラフに基づく自動化,インタラクティブ,凝集フロー可視化の動的アプローチを記述し,現在の状態とシミュレーションデータによって拡張し,待ちと上り合う材料,工具状態,および線を保存した。これにより,生産ラインの現状と,全ての制約を考慮したシミュレーションで予想される材料フローの徹底的な解析が可能になった。Please refer to this article’s citation page on the publisher website for specific rights information. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *凝集 ,  シミュレーション ,  *半導体 ,  自動化 ,  *流れの可視化 ,  *可視化 ,  生産ライン
準シソーラス用語： *シリコンファンドリ ,  半導体工場 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： プロセス制御  (IC03040B) ,  工程管理  (KB03030P) ,  工場一般  (KB02010M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  生産形態  (KB03020E)

タイトルに関連する用語 (4件)： ファブ ,  拡張 ,  流れの可視化 ,  凝集