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J-GLOBAL ID：202002217748595634   整理番号：20A0526101

非晶質Ge-Sb-Se膜の光学的性質と熱安定性【JST・京大機械翻訳】

Optical properties and thermal stability of amorphous Ge-Sb-Se films

著者 (7件)： Teng Nana (Laboratory of Infrared Material and Devices & Key Laboratory of Photoelectric Materials and Devices of Zhejiang Province, Advanced Technology Research Institute, Ningbo University, Ningbo 315211, China) ,  Qin Jingshuang (Laboratory of Infrared Material and Devices & Key Laboratory of Photoelectric Materials and Devices of Zhejiang Province, Advanced Technology Research Institute, Ningbo University, Ningbo 315211, China) ,  Chen Yimin (Laboratory of Infrared Material and Devices & Key Laboratory of Photoelectric Materials and Devices of Zhejiang Province, Advanced Technology Research Institute, Ningbo University, Ningbo 315211, China) ,  Chen Yimin (Department of Microelectronic Science and Engineering, School of Physical Science and Technology, Ningbo University, Ningbo 315211, China) ,  Wang Rongping (Laboratory of Infrared Material and Devices & Key Laboratory of Photoelectric Materials and Devices of Zhejiang Province, Advanced Technology Research Institute, Ningbo University, Ningbo 315211, China) ,  Shen Xiang (Laboratory of Infrared Material and Devices & Key Laboratory of Photoelectric Materials and Devices of Zhejiang Province, Advanced Technology Research Institute, Ningbo University, Ningbo 315211, China) ,  Xu Tiefeng (Laboratory of Infrared Material and Devices & Key Laboratory of Photoelectric Materials and Devices of Zhejiang Province, Advanced Technology Research Institute, Ningbo University, Ningbo 315211, China)
資料名： Journal of Non-Crystalline Solids  (Journal of Non-Crystalline Solids)
巻： 532  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0642A  ISSN： 0022-3093  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 平均配位数(MCN)が2.27~2.66のGe-Sb-Seカルコゲナイド膜をマグネトロンスパッタリング法により堆積した。屈折率,光学バンドギャップ,および厚さなどのアニーリング時間に依存する物理的性質を調べた。MCNを有するGe_15Sb_9.6Se_75.4膜は,屈折率(<1%),光学バンドギャップ(<1%),および厚さ(<3%)における長時間(35時間)熱アニーリング後に最小の変化比を示すことが分かった。トポロジーモデルの解析と共に,MCNを有するGe_15Sb_9.6Se_75.4の成分は,このGe-Sb-Se系における最良の熱安定膜と考えられる。約2.7のより大きな屈折率を有する膜は,カルコゲナイド導波路のような応用に非常に役に立つ。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *非晶質 ,  焼なまし ,  熱安定性 ,  *光学的性質 ,  カルコゲン化物 ,  マグネトロンスパッタリング ,  位相幾何学 ,  導波路 ,  配位数 ,  光学ギャップ ,  屈折率
準シソーラス用語： 熱アニーリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： カルコゲン化物膜 ,  熱安定性 ,  屈折率 ,  Ge-Sb-Se

分類 (2件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  ガラスの性質・分析・試験  (YC02030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 非晶質 ,  Ge ,  Sb ,  Se ,  光学的性質 ,  熱安定性