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J-GLOBAL ID：202002218946075598   整理番号：20A1674690

レーザ照射による微細表面構造創成・表面改質 フェムト秒レーザ光還元法による金属微細パターニング

Fine metal patterning by photoreduction technique using femtosecond pulsed laser

著者 (3件)： 小野篤史 (静岡大 工) ,  鳥山誠也 (静岡大 工) ,  MIZEIKIS Vygantas (静岡大 工)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 64  号： 8  ページ： 403-406  発行年： 2020年08月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・本稿では,超短パルスレーザによる光還元反応に利用した微細パターンニング技術について,先行技術と筆者らの研究成果を交えて解説。
・フェムト秒レーザ光還元法として,光吸収した励起状態分子が起こす酸化還元現象を利用した,金属ナノ粒子の析出による金属ナノ・マイクロ構造パターンニングと光造形技術への発展を説明。
・フェムト秒レーザ光還元法による金属ナノ構造創成として,多光子過程に伴うフェムト秒レーザ光還元法による3次元金属ナノ構造創成技術に関する既報の研究報告をいくつか記述。
・硝酸銀とポリイミド前駆体を混合した試料にフェムト秒パルスレーザを集光照射することにより銀ナノ構造を製作した筆者らの研究に言及。

シソーラス用語： 金属 ,  *微細加工 ,  *パターン形成 ,  *フェムト秒レーザ ,  *光還元 ,  パルスレーザ照射 ,  高分子加工 ,  ナノ構造 ,  銀 ,  表面構造 ,  硝酸銀 ,  ポリイミド ,  前駆体 ,  偏光 ,  周期構造
準シソーラス用語： ナノドット ,  ナノリング ,  レーザ誘起表面周期構造 ,  光造形 ,  多光子

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： レーザ照射 ,  微細表面構造 ,  創成 ,  表面改質 ,  フェムト秒レーザ ,  光還元 ,  微細 ,  パターニング