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J-GLOBAL ID：202002219088588471   整理番号：20A0690277

シリコンマイクロ共振加速度計のモーダル解析と実験【JST・京大機械翻訳】

Modal analysis and experiment of a silicon micro-machined resonant accelerometer

著者 (5件)： Zhang Xiuli (北京交通大学 机械与電子控制工程学院,北京,100044) ,  He Xiaofei (北京交通大学 机械与電子控制工程学院,北京 100044;清華大学 精密儀器系,北京 100084) ,  Yin Yonggang (清華大学 精密儀器系,北京,100084) ,  Fang Zhengxiang (清華大学 精密儀器系,北京,100084) ,  Han Fengtian (清華大学 精密儀器系,北京,100084)
資料名： Zhongguo Guanxing Jishu Xuebao  (Zhongguo Guanxing Jishu Xuebao)
巻： 27  号： 5  ページ： 690-694,700  発行年： 2019年 
JST資料番号： C2764A  ISSN： 1005-6734  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： シリコンマイクロ共振加速度計が構造設計を行う時に、モード特性に従って動作モードを選ぶという問題に対して、加速度計が二種類の異なる振動モードで動作する性能パラメーターを比較分析した。最初に,共振器の振動特性を,剛性法によって解析し,そして,2つのモード,すなわち,共振器の振動モードおよび位相振動モードを,反映し,そして,理論的導出およびシミュレーション結果によって,2つの振動モードの下の共振周波数差およびスケール因子の差が,線形であった。次に,2つの振動モードにおけるエネルギー分布を解析することによって,2つの振動モードの下の共振器の品質因子と梁の振動振幅の間の関係を得て,位相モード振動の周期によって消費されたエネルギーが,逆モードによって消費されたエネルギーのおよそ2倍である。最後に、シリコンマイクロ共振加速度計のノイズを評価することにより、二種類の振動モードにおける部分雑音成分の異なる原因を解明し、実験検証を行った。実験結果は,同じ駆動電圧の下で,位相モードと比較して,位相モードは,25.7%増加する。この研究は,シリコンマイクロ共振加速度計を設計する際に,共振器の振動モードと駆動方式の基準を提供した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 雑音 ,  共振器 ,  位相 ,  シミュレーション ,  駆動方式 ,  構造設計 ,  スケール因子 ,  運転モード ,  共振周波数 ,  *加速度計 ,  *モード解析 ,  振動モード ,  *共振 ,  振動振幅 ,  エネルギー分布

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン ,  共振 ,  加速度計 ,  モーダル解析 ,  実験