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J-GLOBAL ID：202002221180140293   整理番号：20A1395329

電子線を利用したグラフェンへのナノポア作製

Fabrication of nanopores in graphene using electron beam

著者 (6件)： Zhang Xiaobin (芝浦工大 SIT総研) ,  Muruganathan Manoharan (北陸先端大 マテリアルサイエンス系) ,  水谷加奈子 (北陸先端大 マテリアルサイエンス系) ,  Schmidt Marek E. (北陸先端大 マテリアルサイエンス系) ,  水田博 (北陸先端大 マテリアルサイエンス系) ,  大島義文 (北陸先端大 マテリアルサイエンス系)
資料名： 日本表面真空学会学術講演会要旨集(Web)
巻： 2019  ページ： 3Bp11Y(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： U1883A  ISSN： 2434-8589  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： グラフェンナノリボンにナノポアの配列を作ることによって,電子の伝導速度を維持したまま,フォノンの伝導を抑えられる熱電デバイスが作れると期待されている。しかしながら,グラフェンに単一エッジ構造を持つナノポアの作製技術は確立した報告がなかった。本発表は,透過型電子顕微鏡の電子ビームを用いて,グラフェンに形状,大きさ,エッジ構造を制御できるナノポアの加工技術に関して報告する予定である。(著者抄録)

シソーラス用語： *グラフェン ,  *電子ビーム ,  *細孔 ,  ナノ構造 ,  リボン結晶 ,  熱電素子
準シソーラス用語： *グラフェンナノリボン ,  *ナノポア ,  熱電デバイス

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子線 ,  グラフェン ,  ナノポア ,  作製