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J-GLOBAL ID：202002222035475928   整理番号：20A1156746

研磨プロセスにおける光学材料の表面品質を,準Bragg角法に基づいて研究した。【JST・京大機械翻訳】

Study on surface quality of polished optical materials with quasi-Brewster angle method

著者 (6件)： Hu Chunguang (天津大学精密測試技術及儀器国家重点実験室,天津,300072) ,  Sun Zhaoyang (天津大学精密測試技術及儀器国家重点実験室,天津,300072) ,  Fang Zixuan (中国船舶工業系統工程研究院,北京,100094) ,  Liu Jun (天津大学精密測試技術及儀器国家重点実験室,天津,300072) ,  Zhang Hao (天津津航技術物理研究所,天津,300380) ,  Fang Fengzhou (天津大学精密測試技術及儀器国家重点実験室,天津,300072)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 28  号： 2  ページ： 315-323  発行年： 2020年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 光学硬脆材料は機械加工過程で表面/亜表面損傷を必然的に形成し、デバイス性能、使用寿命などに対して重要な影響がある。研削、研磨の2種類の前道プロセスに比べ、研磨段階材料の損傷が極めて微量程度まで次第に減少し、最終的に残留する損傷は材料の使用の全周期に伴い、研磨段階の表面品質の変化過程を研究することは研磨のプロセス品質を把握するのに十分必要であるが、測定の難度が高い。この問題に対して、本論文では、研磨段階損傷の形式をまとめた上で、まず、擬似ブッシング角法による表面品質測定の原理と優位性をシミュレーションし、その後、Nd:GGGレーザ結晶を研究対象とし、エリプソメータを用いて、異なる研磨プロセスにおけるサンプルの表面品質の変化について実験研究を行った。白色光干渉法で測定した表面トポグラフィーとの比較により、準Brillouin角偏移量と位相角変化曲線傾斜は研磨過程における表面品質の変化を精確に反映し、この方法の無損傷と高感度特性、及び補助研究研磨プロセスの実行可能性を示した。最後に,表面品質検出におけるブーリスター角法の問題を解析し,展望した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *研磨 ,  研削 ,  ネオジム ,  ブッシング ,  表面性状 ,  機械工作 ,  光学材料 ,  エリプソメータ
準シソーラス用語： 位相角 ,  硬脆材料 ,  表面トポグラフィー ,  レーザ結晶 ,  表面損傷 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光学情報処理  (BD03060T) ,  研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (5件)： 研磨 ,  プロセス ,  光学材料 ,  表面品質 ,  研究