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J-GLOBAL ID：202002222304281243   整理番号：20A2052247

トランスファプリントとインクジェットを用いたAu/GOマイクロ振動子の作製

Fabrication of micro-oscillator by transfer-printing and inkjet-printing of Au/GO thin film

著者 (3件)： 春日祐人 (東京都大) ,  金田恵輔 (東京都大) ,  金子新 (東京都大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2020  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.H0104  発行年： 2020年08月20日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 加工基板へのAu薄膜のトランスファプリントし,その後にインクジェットで酸化グラフェン(GO)ナノ粒子膜をAu薄膜に積層させることでマイクロ振動子を作製した.マイクロ振動子のサイズは長さ300μm,幅150μm,厚さ300nmであり,100~200Vの電圧印加により静電駆動が可能である.FEM解析結果とは異なり,明確な共振が確認されなかったが,マイクロ振動子は8kHz程度まで安定した駆動を示した.(著者抄録)

シソーラス用語： *噴流 ,  グラフェン ,  酸化物 ,  基板 ,  金属薄膜 ,  薄膜 ,  *振動子 ,  共振 ,  *表面改質
準シソーラス用語： インクジェット ,  *マイクロジェット ,  酸化グラフェン

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (6件)：

• A. Kaneko et al., journal of Automation Technology, 9, 4, (2015), 411-417.
• A. Kaneko et al., Int. J. of Automation Technology, 13, 6, (2019), 810-816.
• I. W. Frank, et al., J. Vac. Sci. Technol. B, 25, 6, (2007), 2558-2561.
• C. Lee et al., Science, 321, 18, (2008), 385-388.
• 森ほか, 2017年度精密工学会春季大会,(2017), 867-868.

タイトルに関連する用語 (3件)： Au ,  振動子 ,  作製