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J-GLOBAL ID：202002222628298006   整理番号：20A0530887

窒化ケイ素におけるマイクロスケール高アスペクト比ホールのトップハットビームによるレーザ穴あけ【JST・京大機械翻訳】

Laser drilling with a top-hat beam of micro-scale high aspect ratio holes in silicon nitride

著者 (6件)： Nasrollahi Vahid (Department of Mechanical Engineering, University of Birmingham, Edgbaston, Birmingham B15 2TT, UK) ,  Penchev Pavel (Department of Mechanical Engineering, University of Birmingham, Edgbaston, Birmingham B15 2TT, UK) ,  Batal Afif (Department of Mechanical Engineering, University of Birmingham, Edgbaston, Birmingham B15 2TT, UK) ,  Le Hoang (Department of Mechanical Engineering, University of Birmingham, Edgbaston, Birmingham B15 2TT, UK) ,  Dimov Stefan (Department of Mechanical Engineering, University of Birmingham, Edgbaston, Birmingham B15 2TT, UK) ,  Kim Kyunghan (Korea Institute of Machinery & Materials, Daejeon 34103, South Korea)
資料名： Journal of Materials Processing Technology  (Journal of Materials Processing Technology)
巻： 281  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0650A  ISSN： 0924-0136  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高アスペクト比マイクロホールは多くの製品,特にエレクトロニクス産業において非常に重要な機能的特徴である。特に,電子デバイスにおけるこのようなホールが満足すべき重要な要件は,製品の機能的性能に直接影響を与えるそれらの形態と品質に関するものである。同時に,超短レーザは,それらの独特の処理特性により,そのような厳しい要求に適合する能力を持つことを示した。ドリル加工に用いられるレーザ光源の典型的なビーム空間分布はGauss型であり,これはいくつかの制約と限界を伴う。本研究では,レーザマイクロドリル加工のためのビーム成形システムを設計し,トップハット空間プロファイルを達成するために実装した。円筒度,円形度,テーパ角,熱影響部(HAZ)および侵入深さに関する高アスペクト比孔の形態を,高分解能X線計算トモグラフィー(XCT)によって調査した。マイクロスケールの高アスペクト比ホールを生成するためのこのようなビーム成形解の能力と限界を検討した。すなわち,デフォーカスに対する感度,Gaussビーム空間分布と比較した。レーザマイクロドリル加工のためにそれらを展開するときの,高アスペクト比の孔とトレードオフの形態に及ぼすトップの影響に関する結論を得た。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： トモグラフィー ,  高分解能 ,  Gaussビーム ,  *レーザ穴あけ ,  電子技術 ,  ドリル加工 ,  *レーザ ,  ビーム成形 ,  真円度 ,  *窒化ケイ素 ,  正規分布 ,  品質 ,  空間分布
準シソーラス用語： デフォーカス ,  レーザー光源 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： レーザマイクロドリリング ,  高アスペクト比ホール ,  フラットトップ分布 ,  穴の形態 ,  ビーム成形

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 窒化ケイ素 ,  マイクロスケール ,  高アスペクト比 ,  ホール ,  レーザ穴あけ