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J-GLOBAL ID：202002222631447759   整理番号：20A1582522

流動層化学蒸着(CVD)により,化学量論比のTiN粉体を調製した。【JST・京大機械翻訳】

Preparation of nearly-stoichiometric TiN powder by chemical vapor deposition in fluidized-bed

著者 (4件)： Sang Yuan (中国科学院過程工程研究所,北京100190;中国科学院大学化学工程学院,北京100049) ,  Xiang Maoqiao (中国科学院過程工程研究所,北京,100190) ,  Song Miao (中国科学院過程工程研究所,北京100190;中国科学院大学化学工程学院,北京100049) ,  Zhu Qingshan (中国科学院過程工程研究所,北京100190;中国科学院大学化学工程学院,北京100049)
資料名： Huagong Xuebao  (Huagong Xuebao)
巻： 71  号： 6  ページ： 2743-2751  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0215B  ISSN： 0438-1157  CODEN： HUKHAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 伝統的な気体-固体反応プロセスによるTiN粉体の調製は,内部拡散制御過程が難しく,高純度で,正の化学量論比のTiN粉体を調製するのに,大きな困難性がある。流動化化学蒸着(FBCVD)プロセスによる高品質TiN粉体の調製,すなわち,TiCl4-N2-H2系に基づく,TiNシード粉体上への新しい高品質TiN粉体の堆積のための新規方法を,提案した。TiNシード粉体の粒径が52.95μmより大きい場合,1000°Cで2h堆積しても,TiNシード粉体にサブミクロンサイズの結節状新生TiN粒子が得られた。酸素窒素分析器とXRD分析により、新方法は粉体の窒素含有量を著しく向上させ、近化学量論比のTiN0.96が得られ、酸素含有量は約40%低下することが分かった。さらに、流動層中の気相蒸着TiNの成長モードは島状成長モードであり、工業で高品質のTiN粉体を調製するための新たな方法を提供した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  固相反応 ,  *粉体 ,  *流動層 ,  酸素 ,  窒素 ,  粒径 ,  *化学量論 ,  分析機器 ,  流動化 ,  *化学蒸着 ,  *蒸着
準シソーラス用語： *窒化チタン ,  Volmer-Weber成長 ,  高品質 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 化学工学一般  (XA01000E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 流動層 ,  化学蒸着 ,  CVD ,  化学量論 ,  TiN ,  粉体 ,  調製