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J-GLOBAL ID：202002222845617885   整理番号：20A0329918

自立多孔質シリコン多層に基づくFabry-Perot空洞のab initio設計と実験的確認【JST・京大機械翻訳】

Ab initio design and experimental confirmation of Fabry-Perot cavities based on freestanding porous silicon multilayers

著者 (2件)： Palavicini Alessio (Instituto de Investigaciones en Materiales, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Mexico City, Mexico) ,  Wang Chumin (Instituto de Investigaciones en Materiales, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Mexico City, Mexico)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 31  号： 1  ページ： 60-64  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,Fabry-Perot多層共振器のハイブリッド量子古典的設計を報告した。このような設計は,特定の原子構造を持つ各半導体層に対する誘電関数のab initio計算から始まり,古典的な電磁理論内の伝達行列法を用いて素子を通しての波動散乱の研究が続く。この光学共振器は単一不純物層により分離された二つの多層反射器からなり,反射バンドの中心に共鳴ピークを示すように調整される。この多重スケール設計の検証を,高ドープp型[100]配向結晶Siウエハの電気化学エッチングにより作製した自立ナノ構造多孔質シリコン多層膜について,基板から多層を分離するために高電流で2つのアノード電流密度と仕上げを交互に行った。測定した赤外透過スペクトルをハイブリッド設計から予測したものと比較した。Copyright Springer Science+Business Media, LLC, part of Springer Nature 2019 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アノード ,  *多孔質シリコン ,  共振器 ,  ドーピング ,  電流密度 ,  反射器 ,  共鳴 ,  ナノ構造 ,  多層膜 ,  赤外線 ,  誘電関数 ,  散乱 ,  波動 ,  結晶 ,  伝達マトリックス法

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 自立 ,  多孔質シリコン ,  多層 ,  空洞 ,  設計 ,  実験