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J-GLOBAL ID：202002222905267596   整理番号：20A0582317

増強EMI遮蔽特性を有する透明ポリカーボネート上のITO/Au/ITO多層薄膜【JST・京大機械翻訳】

ITO/Au/ITO multilayer thin films on transparent polycarbonate with enhanced EMI shielding properties

著者 (9件)： Erdogan Nursev (Turkish Aerospace, Advanced Material, Process and Energy Technology Center, 06980, Ankara, Turkey) ,  Erden Fuat (Turkish Aerospace, Advanced Material, Process and Energy Technology Center, 06980, Ankara, Turkey) ,  Erden Fuat (Sivas University of Science and Technology, Department of Aeronautical Engineering, 58050, Sivas, Turkey) ,  Astarlioglu A. Taner (Turkish Aerospace, Advanced Material, Process and Energy Technology Center, 06980, Ankara, Turkey) ,  Ozdemir Mehtap (Teknoma Technological Materials Inc. Izmir Technology Development Zone, Urla, 35430, Izmir, Turkey) ,  Ozbay Salih (Turkish Aerospace, Advanced Material, Process and Energy Technology Center, 06980, Ankara, Turkey) ,  Aygun Gulnur (Izmir Institute of Technology, Department of Physics, Urla, 35430, Izmir, Turkey) ,  Ozyuzer Lutfi (Teknoma Technological Materials Inc. Izmir Technology Development Zone, Urla, 35430, Izmir, Turkey) ,  Ozyuzer Lutfi (Izmir Institute of Technology, Department of Physics, Urla, 35430, Izmir, Turkey)
資料名： Current Applied Physics  (Current Applied Physics)
巻： 20  号： 4  ページ： 489-497  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1579A  ISSN： 1567-1739  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ITO/Au/ITO多層薄膜を,意図的加熱なしでマグネトロンスパッタリング技術によりポリカーボネート基板上に蒸着した。ITOとAu層の両方の堆積時間を研究し,全体の透明度と伝導率を最適化した。調製した薄膜をX線回折分析,二次イオン質量分析,走査および透過型電子顕微鏡,原子間力顕微鏡および物理的性質測定システムを用いて特性化した。光学測定結果は,膜の透過率が15sまでの金堆積時間の増加により増強されることを明らかにした。この点を超えると,継続時間の増加は光透過率の減少を引き起こした。Au蒸着時間の最適化により,ITO層の堆積時間も研究し,電磁干渉(EMI)遮蔽効果(SE)を増加させた。本研究における最大EMI SEは26.8dBと測定され,99.8%の電力減衰をもたらし,シミュレーション結果により検証された。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電磁干渉 ,  電子顕微鏡観察 ,  シミュレーション ,  酸化インジウムスズ ,  透過率 ,  蒸着 ,  *薄膜 ,  薄膜成長 ,  最適化 ,  X線回折分析 ,  電力 ,  *多層膜 ,  透明度 ,  *金 ,  透過型電子顕微鏡 ,  *ポリカーボネート ,  原子間力顕微鏡

著者キーワード (6件)： 透明導電性酸化物 ,  多層薄膜 ,  スパッタリング ,  電磁干渉遮蔽 ,  酸化インジウムすず ,  金

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 増強 ,  EMI ,  遮蔽 ,  ポリカーボネート ,  ITO ,  Au ,  多層薄膜