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J-GLOBAL ID:202002222984047069   整理番号:20A2150938

窒素ガスによるチャンバパージング実験のシミュレーションアプローチ【JST・京大機械翻訳】

Simulation approach of chamber purging experiment by nitrogen gas
著者 (1件):
資料名:
巻: 1572  号:ページ: 012059 (8pp)  発行年: 2020年 
JST資料番号: W5565A  ISSN: 1742-6588  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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チャンバ内の完全な乾燥空気条件(Relative Humidity/RH=0%)を作るために,通常,ガス検知研究においてChaberパージが必要である。実験は,円筒形チャンバのRH(体積=7.5cm3)は,合成空気の100と300sccm(20%O_2と80%のN_2)でパージされたが,0%(わずか32%と4%)に接触しないことを示した。また,N_2ガスを合成空気の代わりに用いたとき,同じ条件を得た。この実験結果を理解するために,シミュレーションを行った。ボックス型チャンバ(体積=9.6cm3)を用いたシミュレーション手法は,N_2ガスの拡散対流プロセスの組み合わせが,純粋拡散あるいは純粋対流の代わりにチャンバパージ実験の結果の原因であることを示した。将来ステップでは,0%RHに達するために,さらなる調査(実験とシミュレーション)が必要である。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (5件):
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その他の無触媒反応  ,  粉体工学  ,  実験操作・装置(化学一般)  ,  人体の汚染及び防止  ,  薄膜成長技術・装置 
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