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J-GLOBAL ID：202002223076966687   整理番号：20A2381047

先端電子技術と新技術開発 グローバルシャッタ型CMOSテラヘルツセンサの開発

著者 (1件)： 池辺将之 (北大 量子集積エレクトロニクス研究セ)
資料名： ケミカルエンジニヤリング  (Chemical Engineering (Tokyo))
巻： 65  号： 11  ページ： 694-700  発行年： 2020年11月01日 
JST資料番号： F0134A  ISSN： 0387-1037  CODEN： CMNGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・テラヘルツ光イメージセンサにおいて,CMOSプロセスを用いたアンテナ型テラヘルツ光センサの設計要素の紹介。
・振幅/入力パワーである受光感度と雑音等価電力(NEP)の提示および信号対雑音比が1となる時の入射光量パワーで示されるNEP。
・マッチング回路を介して,アンテナとデバイスを接続し,2乗検波の概念で変調されたテラヘルツ光を検知するCMOSアンテナ型テラヘルツ光センサの構成。
・180nmCMOSプロセスにおいて,メタル1層とメタル6層により形成され,アンテナもSi基板上に同時集積することで,検出器とのワンチップ化が可能なマイクロストリップアンテナ。

シソーラス用語： CMOS ,  光センサ ,  テラヘルツ波 ,  *アレイアンテナ ,  電子回路 ,  *マイクロストリップアンテナアレイ
準シソーラス用語： テラヘルツ光 ,  *マイクロストリップアレイアンテナ ,  ピクセル回路

分類 (1件)： アンテナ  (ND06000M)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子技術 ,  開発 ,  グローバル ,  シャッタ ,  CMOS