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J-GLOBAL ID：202002223101710288   整理番号：20A0633418

DCプラズマジェットCVDを用いた立方晶ダイヤモンド結晶の合成【JST・京大機械翻訳】

Synthesizing Cubic Diamond Crystal Using DC Plasma Jet CVD

著者 (6件)： Toyota Hiromichi (Ehime University, Department of Mechanical Engineering Matsuyama Japan 3 Bunkyo-cho) ,  Zhu Xia (Ehime University, Department of Mechanical Engineering Matsuyama Japan 3 Bunkyo-cho) ,  Shiraishi Ryoya (Ehime University, Department of Mechanical Engineering Matsuyama Japan 3 Bunkyo-cho) ,  Nakajima Kazuto (Ehime University, Department of Mechanical Engineering Matsuyama Japan 3 Bunkyo-cho) ,  Iwamoto Yukiharu (Ehime University, Department of Mechanical Engineering Matsuyama Japan 3 Bunkyo-cho) ,  Nomura Shinfuku (Ehime University, Department of Mechanical Engineering Matsuyama Japan 3 Bunkyo-cho)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 825  ページ： 71-76  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メタノール溶液中の基板セットにDCアークプラズマジェットを照射することにより,ダイヤモンド結晶を合成することに成功した。プラズマジェットガンにメタノール溶液ガスを導入する前に,不活性Arプラズマジェットにより基板を予熱することは重要な手順である。入射パワーと基板の2つの実験条件の影響を調べた。Si基板の場合,同じサイズの立方晶結晶ダイヤモンド粒を470Wのプラズマパワーで合成した。この方法を用いることにより,高速ヘテロエピタクシーが期待される。炭化タングステン基板の場合,ダイヤモンド結晶とカーボンナノチューブを260Wのプラズマパワーで同時に合成した。基板中のCoバインダーの触媒効果はナノチューブ合成の化学反応を引き起こす可能性がある。Copyright 2020 Trans Tech Publications Ltd. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： カーボンナノチューブ ,  *立方晶系 ,  炭化タングステン ,  *プラズマジェット ,  化学反応 ,  ヘテロエピタクシー ,  粘結剤 ,  ナノチューブ ,  アルゴン ,  *プラズマ ,  予熱 ,  *ダイヤモンド ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： 触媒作用 ,  シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ダイヤモンド ,  プラズマジェット ,  CVD ,  カーボンナノチューブ ,  液体プラズマ

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： メタノール

タイトルに関連する用語 (5件)： DCプラズマ ,  ジェット ,  CVD ,  立方晶 ,  ダイヤモンド結晶