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J-GLOBAL ID：202002223288632083   整理番号：20A1925927

開放ドア条件における前面開口統一ポッドの流れ特性と速度場【JST・京大機械翻訳】

Flow characteristics and velocity fields of a front opening unified pod at open door condition

著者 (7件)： Lin Tee (Department of Energy and Refrigerating Air-conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan) ,  Zargar Omid Ali (Department of Energy and Refrigerating Air-conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan) ,  Sabusap Dexter Lyndon (Department of Energy and Refrigerating Air-conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan) ,  Juina Oscar (Department of Energy and Refrigerating Air-conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan) ,  Lee Tzu-Chieh (Department of Energy and Refrigerating Air-conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan) ,  Hu Shih-Cheng (Department of Energy and Refrigerating Air-conditioning Engineering, National Taipei University of Technology, Taipei, Taiwan) ,  Leggett Graham (LI-COR Biosciences, Lincoln, NE, USA)
資料名： Case Studies in Thermal Engineering  (Case Studies in Thermal Engineering)
巻： 21  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2978A  ISSN： 2214-157X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 粒子汚染は半導体産業における製品品質を低下させる。今日,チップと特徴のサイズは著しく減少した。したがって,半導体ウエハの製造と輸送中のフロント開口統一ポッドからの水分除去の重要性を増加させる。革新的層流エアカーテンとディフューザパージ装置を台北技術において設計した。これらのデバイスは多くの半導体産業で現在使用されている。本研究では,3種類の水分除去方法(エアカーテン,従来のパージ,ディフューザパージ)の性能を評価し,正当化するために,煙流可視化を用いた。ミニ環境とフロント開口統一ポッドモデルを,製造施設で実際の応用と同じサイズと形状で構築した。革新的レーザスイープ技術をTaipei技術において設計し,実験中に平面レーザ光シートを提供できる。煙流パターンをデジタルカメラによって記録した。相対湿度を,前面開口統一ポッド内部のダミーウエハ上に設置した相対湿度センサを用いて監視した。流れパターン,速度場および相対湿度データの研究は,エアカーテンとディフューザパージ技術の組合せが最高の性能を示し,従って産業に推奨されていることを示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 層流 ,  流れの可視化 ,  相対湿度 ,  掃気 ,  エアカーテン ,  汚染防止 ,  可視化 ,  レーザビーム ,  流れ分布 ,  粒状物汚染 ,  ヒューム ,  *流れ特性 ,  製品品質 ,  生産設備
準シソーラス用語： ディジタルカメラ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 汚染防止 ,  前面開口統一ポッド ,  空気カーテン ,  従来のパージ ,  流れの可視化 ,  粒子画像速度測定

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ドア ,  前面開口 ,  流れ特性 ,  速度場