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J-GLOBAL ID：202002223445645744   整理番号：20A2204502

マイクロ製作プラズマアクチュエータによるイオン風発生に及ぼす誘電体厚みと電極構造の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of dielectric thickness and electrode structure on the ion wind generation by micro fabricated plasma actuators

著者 (7件)： Hink R (Leibniz Institute for Plasma Science and Technology, Greifswald, 17489, Germany) ,  Pipa A V (Leibniz Institute for Plasma Science and Technology, Greifswald, 17489, Germany) ,  Schaefer J (Leibniz Institute for Plasma Science and Technology, Greifswald, 17489, Germany) ,  Caspari R (Airbus Defence and Space, Manching, 85077, Germany) ,  Weichwald R (Airbus Defence and Space, Manching, 85077, Germany) ,  Foest R (Leibniz Institute for Plasma Science and Technology, Greifswald, 17489, Germany) ,  Brandenburg R (Leibniz Institute for Plasma Science and Technology, Greifswald, 17489, Germany)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 53  号： 40  ページ： 405201 (10pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面誘電体バリア放電を調べ,イオン風発生に及ぼす曝露電極の障壁厚さと微細構造の複合効果を調べた。200と250μmの特性サイズと0.5,1と2mmの誘電体厚さを有する直線と構造化高電圧電極を有するアクチュエータを比較した。i)イオン風発生のアクチュエータ効率は印加電圧振幅に強く依存する;ii)動作電圧は対数的に誘電体厚さに依存する;iii)電極微細構造は動的圧力を僅かに増加させたが(最大パーセント),この効果はより厚い誘電体とより小さい電極構造で減少する;iv)最も集中的な放電部分のパターンおよび誘電侵食は,200μmまで電極の規則的構造を繰り返した。いくつかの同一試料を,空気湿度の影響および誘電体の劣化を推定するために,異なる日に試験した。試料製造のマイクロスケール精度をプリント回路基板の市販設備によって達成した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 浸食 ,  微細構造 ,  放電 ,  *誘電体 ,  湿度 ,  アクチュエータ ,  プリント基板 ,  対数 ,  動圧 ,  無声放電
準シソーラス用語： *イオン風 ,  印加電圧 ,  *電極構造 ,  マイクロスケール ,  プラズマアクチュエータ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (6件)： 製作 ,  プラズマアクチュエータ ,  イオン風 ,  誘電体 ,  厚み ,  電極構造