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J-GLOBAL ID：202002223784452525   整理番号：20A1725864

CVI処理窒化ホウ素界面被覆の成長と微細構造に及ぼすBCl_3/NH_3流量比の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of BCl₃/NH₃ flow ratio on growth and microstructure of CVI-processed boron nitride interfacial coatings

著者 (6件)： Dai Jianwei (Science and Technology on Thermostructural Composite Materials Laboratory, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, 710072, PR China) ,  Dai Jianwei (Key Laboratory for Advanced Corrosion and Protection of Aviation Materials, AECC Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing, 100095, PR China) ,  Wang Yiguang (Science and Technology on Thermostructural Composite Materials Laboratory, Northwestern Polytechnical University, Xi’an, 710072, PR China) ,  Xu Zhenhua (Key Laboratory for Advanced Corrosion and Protection of Aviation Materials, AECC Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing, 100095, PR China) ,  Mu Rende (Key Laboratory for Advanced Corrosion and Protection of Aviation Materials, AECC Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing, 100095, PR China) ,  He Limin (Key Laboratory for Advanced Corrosion and Protection of Aviation Materials, AECC Beijing Institute of Aeronautical Materials, Beijing, 100095, PR China)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 179  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学蒸着(CVI)は通常,層状微細構造を有する六方晶窒化ホウ素(h-BN)界面被覆を堆積するために利用される。BN被覆の堆積速度はアンモニア流の増加と共に増加し,核形成が気相よりも繊維表面で起こることを示した。しかし,アンモニア流が3.0Lmin-1から7.5Lmin-1に増加したとき,堆積速度は30%だけの増加を示し,BN被覆の堆積がホウ素析出によって制御されることを意味した。さらに,3.0~4.2L min-1のアンモニア流で調製した被覆試料は,比較的滑らかな表面を示し,一方,5.4および7.5L min-1の流速は,直径>4μmのストラムをもたらした。滑らかな被覆は,ホウ素と窒素の近化学量論比を示し,アルゴンと空気中で室温から1300°Cまで優れた熱安定性を示した。さらに,ストラム含有被覆の化学組成は,望ましい化学量論から遠く,両被覆は,酸素および水蒸気の存在下でより低い熱安定性に起因する,より低い量の六方晶相を含む。本研究は,BN被覆の品質に及ぼすCVIプロセスパラメータの影響への有用な洞察を提供する。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *界面 ,  化学組成 ,  核形成 ,  アルゴン ,  酸素 ,  窒素 ,  *ホウ素 ,  *被覆 ,  アンモニア ,  堆積速度 ,  流速 ,  化学量論 ,  化学蒸着 ,  *窒化ホウ素
準シソーラス用語： 六方晶窒化ホウ素 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 六方晶窒化ホウ素 ,  SiC繊維 ,  化学蒸気浸透 ,  BCl_3/NH_3流量比 ,  熱安定性

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： CVI ,  窒化ホウ素 ,  界面 ,  成長 ,  微細構造 ,  流量比