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J-GLOBAL ID：202002224017227988   整理番号：20A2662582

メータレベル宇宙非球面鏡のための完全指数パラメータの制御法【JST・京大機械翻訳】

Control method of full index parameters for meter-level space aspheric mirror

著者 (4件)： Meng Xiaohui (Beijing Institute of Space Mechanics and Electricity (China)) ,  Wang Yonggang (Beijing Institute of Space Mechanics and Electricity (China)) ,  Zhang Jiyou (Beijing Institute of Space Mechanics and Electricity (China)) ,  Zhou Yuming (Beijing Institute of Space Mechanics and Electricity (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11568  ページ： 115681R-6  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メートルレベルの非球面鏡は宇宙光学リモートセンサにおけるコア光学製品である。宇宙光学リモートセンシング技術の開発により,ミラー製造品質は,過去の全指標パラメータのグローバル制御に,いくつかの重要パラメータに焦点を合わせて徐々に発展した。これは,光学的製作と試験のための大きな課題を疑いなくもたらす。典型的なメートルレベルの非球面鏡を例として,宇宙応用のための非球面鏡のためのフルパラメータプロセス制御方法を紹介した。最初に,非球面表面形状ミリングと研削段階で,輪郭測定法を用いて,鏡面の曲率半径,非球面表面係数,有効開口,および光学軸の偏差を初めに制御した。第2に,粗い研磨段階に入った後,ミラー表面はミラーの粗さ指数と同じ時間で急速に改善され,ミラー表面形状の精度を改善し,中間から高周波数の誤差を制御する。最後に,微細研磨段階において,重力除荷の方法を用いて,宇宙鏡のゼロ重力表面形状を得た。ミラーの幾何学的および光学的パラメータは期待値に収束し,頂点曲率半径の誤差は0.5mmより良好である。非球面係数の誤差は0.01%より良かった。光学軸の偏差は1′/1mmより良く,全周波数帯における表面形状精度のrmsは10nmより良く,低帯域誤差は8nmより良く,中間帯域誤差は3nmより良かった。表面粗さrmsは1nmより良く,残りのパラメータはカメラオントラック応用のニーズを満たす。提案したプロセス制御法を拡張し,1~4mの範囲の非球面鏡の高精度製造にも応用できた。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 研磨 ,  重力 ,  研削 ,  期待値 ,  開口 ,  HF【周波数】 ,  *非球面鏡 ,  *制御方式 ,  リモートセンシング ,  表面粗さ ,  *宇宙空間 ,  周波数帯 ,  形状精度
準シソーラス用語： 曲率半径 ,  非球面 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 宇宙 ,  非球面鏡 ,  指数 ,  パラメータ ,  制御法