抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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均一性と不均一性は批判的に研究され,実行可能な概念の一つであり,先進的な電子デバイスの開発において重要な構成要素になっている。半導体の歴史において,コンデンサ,抵抗器,ダイオード,トランジスタ,FET-MOSFETなどの電子デバイスとして多くの材料が使用されている。半導体産業の先駆者であり,集積回路の基礎を確立し,無線検出器などの半導体応用に向けて注目を集めている。最終的に,ダイオードは顕著な応用を得て,整流器,センサ,現代ディスプレイなどの主要領域におけるその地平を広げている。電気または電子デバイスとしての半導体動作は,材料の電気的,電気機械的,熱的挙動に非常に依存しており,これらの挙動を理解し,その応用を導いた。あらゆる材料はエネルギーバンドを有し,その電気的特性と挙動を研究するのに役立つ。ヘテロ接合は,接合として作用できる共通の界面を共有する二つの異種材料を接続することを意味する。現代の技術において,ヘテロ接合は,特定の装置の品質を改善するよく知られたプロセスになった。本研究では,異なる構造を持つ炭化ケイ素ヘテロ接合ベース素子に焦点を当てた。3C,4Hおよび6Hのような炭化ケイ素ポリタイプは,より良好な電気的性質を示し,一般的にパワーエレクトロニクスデバイスに使用されている。本論文では,n型炭化ケイ素-シリコンヘテロ接合ダイオードの研究について議論する。その2D構造を実現し,異なるシミュレーションベースの研究を実行するために,SILVACO ATLAS TCADを使用した。本論文では,異なる内部構造を有する炭化ケイ素-ケイ素ヘテロ接合ダイオードのI-V挙動に焦点を合わせた。全てのシミュレーションは-10Vから+10Vの電圧範囲で行った。10mmの境界によって10mmで構築された2D構造も,素子全体にわたって均一なドーピング濃度を有していた。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】