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J-GLOBAL ID：202002224681462968   整理番号：20A0473574

ZrO_2-Cu複合ナノガラス膜の形成と特性【JST・京大機械翻訳】

Formation and properties of ZrO₂-Cu composite nanoglass films

著者 (8件)： Yin Leqi (School of Materials Science and Engineering, Tianjin University, Tianjin, 300350, China) ,  Han Lu (School of Materials Science and Engineering, Tianjin University, Tianjin, 300350, China) ,  Wang Jing (School of Materials Science and Engineering, Tianjin University, Tianjin, 300350, China) ,  Zhang An (School of Materials Science and Engineering, Tianjin University, Tianjin, 300350, China) ,  Liu Dongguang (Institute of Industry and Equipment Technology, Hefei University of Technology, Hefei, 230009, China) ,  Luo Laima (College of Materials Science and Engineering, Hefei University of Technology, Hefei, 230009, China) ,  Huang Yuan (School of Materials Science and Engineering, Tianjin University, Tianjin, 300350, China) ,  Wang Zumin (School of Materials Science and Engineering, Tianjin University, Tianjin, 300350, China)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 173  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 結晶粒界と転位のない従来の非晶質材料と異なり,ナノ結晶は非晶質ナノ粒子とガラス-ガラス界面から成り,独特の性質をもたらす。本研究では,多重ターゲットマグネトロン同時スパッタリングによりZrO_2-Cu複合ナノガラスを開発し,その微細構造,光学的および電気的性質を,収差補正透過型電子顕微鏡,分光エリプソメトリ,UV-可視分光光度計およびHall測定を用いて研究した。Cuは非晶質界面領域に富むことが分かった。ZrO_2-Cu複合ナノガラスは,高い可視光透過率(70%以上),高い屈折率(1.98~2.08)および大きな光学バンドギャップ(5.0~5.7eV)を示した。Cu含有量が増加すると,電気的性質も改善された。界面におけるCuの濃縮は,さらに2Dナノ伝導性ネットワークの調製のための新しいルートを提供する。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ナノ結晶 ,  透過型電子顕微鏡 ,  ナノ粒子 ,  収差補正 ,  非晶質 ,  二次元 ,  光学ギャップ ,  *銅 ,  *ガラス ,  屈折率 ,  ネットワーク ,  電子顕微鏡観察 ,  電気的性質 ,  結晶粒界 ,  多重化 ,  界面

著者キーワード (6件)： ZrO_2-Cu ,  ナノガラス ,  マグネトロンスパッタリング ,  偏析 ,  光学的性質 ,  電気的性質

分類 (4件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (2件)： Cu ,  ガラス膜