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J-GLOBAL ID：202002225040153398   整理番号：20A1099242

低出力面内マイクロヒータおよび温度センサと統合した3D WO_3ナノコーン構造に基づく高感度エタンガスセンサの開発【JST・京大機械翻訳】

Development of Highly Sensitive Ethane Gas Sensor Based on 3D WO₃ Nanocone Structure Integrated with Low-Powered In-Plane Microheater and Temperature Sensor

著者 (3件)： Adib Md Ridwan (Department of Electrical and Computer Engineering, Ajou University, Suwon, Gyeonggi-do, 16499, South Korea) ,  Kondalkar Vijay V. (Leibniz Institute for Solid State and Materials Research, Dresden, 01069, Germany) ,  Lee Keekeun (Department of Electrical and Computer Engineering, Ajou University, Suwon, Gyeonggi-do, 16499, South Korea)
資料名： Advanced Materials Technologies  (Advanced Materials Technologies)
巻： 5  号： 5  ページ： e2000009  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2485A  ISSN： 2365-709X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属酸化物ナノ構造は,20年以上にわたる先進ガスセンサの作製のための最も有望な材料である。特に,種々の有害ガスに対する信頼できる応答性と選択性が将来の化学抵抗型ガスセンサの主要な要件である。ここでは,実時間エタン(C_2H_6)ガスセンサのためのWO_3の3Dナノコーン(NC)を報告する。無線周波数(RF)スパッタを用いてセンサ交差指電極(IDEs)上に堆積させた小型WO_3ナノ粒子薄膜を,WO_3薄膜を,ポリスチレンの単純な単分子層を有する高度に秩序化した3D NCに変換した。温度センサと一体化した面内マイクロヒータも開発し,ヒータ,温度センサ,およびガスセンサは,マイクロヒータとセンサIDEを他方に置いた従来の垂直構造の代わりに同じ平面を共有する。作製前に,COMSOLシミュレーションを行い,NC構造のヒータ性能と表面電荷密度を予測した。センサ応答における平面WO_3と高度に秩序化した3D NC WO_3の間の比較研究を行った。作製したセンサ(平面WO_3)と3D NC WO_3は,200°Cでそれぞれ44%と52%から100ppmのエタンの高い応答ΔR/R(%)を示した。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： シミュレーション ,  応答特性 ,  *加熱器 ,  ポリスチレン ,  単分子層 ,  酸化タングステン ,  有害ガス ,  *三次元 ,  ナノ構造 ,  ナノ粒子 ,  アルカン
準シソーラス用語： 交差指電極 ,  *マイクロヒータ ,  *ナノコーン ,  COMSOL , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： エタンガスセンサ ,  面内マイクロヒータ ,  ナノコーン ,  温度センサ ,  酸化タングステン

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： エタン

タイトルに関連する用語 (10件)： 低出力 ,  マイクロヒータ ,  温度センサ ,  統合 ,  3D ,  ナノコーン ,  高感度 ,  エタン ,  ガスセンサ ,  開発