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J-GLOBAL ID：202002225114968716   整理番号：20A2768000

集積NDIRガスセンサのためのガスチェンバと断熱構造シミュレーション【JST・京大機械翻訳】

Gas chamber and thermal isolation structure simulation for an integrated NDIR gas sensor

著者 (9件)： Zhang Kaisheng (University of Electronic Science and Technology of China,School of Electronic Science and Engineering,Chengdu,China) ,  Luo Wenbo (University of Electronic Science and Technology of China,State Key Laboratory of Electronic Thin films and Integrated Devices,Chengdu,China) ,  Wang Tao (University of Electronic Science and Technology of China,State Key Laboratory of Electronic Thin films and Integrated Devices,Chengdu,China) ,  Yang Jing (China Electronics Technology Group,26th Institute of China,Electronics Technology Group Corporation,Chongqing,China) ,  Yuan Yupeng (China Electronics Technology Group,26th Institute of China,Electronics Technology Group Corporation,Chongqing,China) ,  Zhang Zuwei (China Electronics Technology Group,26th Institute of China,Electronics Technology Group Corporation,Chongqing,China) ,  Shuai Yao (University of Electronic Science and Technology of China,State Key Laboratory of Electronic Thin films and Integrated Devices,Chengdu,China) ,  Wu Chuangui (University of Electronic Science and Technology of China,State Key Laboratory of Electronic Thin films and Integrated Devices,Chengdu,China) ,  Zhang Wanli (University of Electronic Science and Technology of China,State Key Laboratory of Electronic Thin films and Integrated Devices,Chengdu,China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： NEMS  ページ： 338-341  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多くの側面における最良のガス検知技術の1つである非分散赤外(NDIR)ガスセンサの応用は,その大きな体積によって妨げられてきた。本論文では,Siガスチャンバと一体化したデバイス構造を提案し,シミュレーションして,超小型NDIRガスセンサを実現した。29%の効率を有する19.75mmの光輸送長さを,トレースProシミュレーションに従って1010 10 1mm3 Siガスチャンバで達成した。さらに,シリコンインターポーザ上の熱絶縁構造もシミュレートし,ガスセンサの信号対雑音比を増すために最適化した。最後に,10 10 10 2 mm3 NDIRセンサーは,高いSNR値(162.5)を示し,これは,携帯電話における有望な応用,物技術のインターネット,および住宅大気汚染モニタリングを示した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： SN比 ,  最適化 ,  *シミュレーション ,  赤外線 ,  素子構造 ,  断熱構造 ,  センサ ,  汚染監視 ,  ガスセンサ ,  携帯電話 ,  インターネット
準シソーラス用語： *チャンバ ,  超小型 ,  *NDIR ,  ガス検知 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 集積 ,  NDIR ,  ガスセンサ ,  断熱構造 ,  シミュレーション