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J-GLOBAL ID：202002225511320921   整理番号：20A2453396

電子ビーム蒸着によるTeリッチBi_2Te_3薄膜:構造的,電気的,光学的および熱電特性【JST・京大機械翻訳】

Te-rich Bi₂Te₃ thin films by electron-beam deposition: Structural, electrical, optical and thermoelectric properties

著者 (4件)： Sudarshan C. (Thin Film Centre, Department of Applied Science, PSG College of Technology, Coimbatore 641004, India) ,  Jayakumar S. (Department of Physics, PSG Institute of Technology and Applied Research, Coimbatore 641062, India) ,  Vaideki K. (Thin Film Centre, Department of Applied Science, PSG College of Technology, Coimbatore 641004, India) ,  Sudakar C. (Multi Functional Materials Laboratory, Department of Physics, Indian Institute of Technology Madras, Chennai 600036, India)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 713  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： テルリウムリッチBi_2Te_3薄膜を300Kで電子ビーム蒸着法により堆積した。堆積したままの薄膜を100°C,200°Cおよび300°Cで1時間,圧力3×10-4Paでさらにアニールした。堆積したままの膜のX線回折(XRD)パターンはBi_2Te_3と共にTe相を明確に示す。ピーク強度比から,堆積したBi_2Te_3膜の多結晶性が示唆された。真空アニーリングでは,TeリッチBi_2Te_3膜はc軸優先配向を有する改善された結晶性を示した。さらに,TeとBi_2Te_3組成に関連した構造的特徴は,300°CでのアニーリングでTe分率が減少すると変化した。Ramanスペクトル研究から,主にBi_2Te_3の中間層内にある明確なTeリッチ領域の存在が識別された。Teは,成長したままの層としてBi_2Te_3格子の五重項内に構造的に統合される。無秩序平面構造は,主に微結晶表面に集中し,高分解能透過型電子顕微鏡格子像とエネルギー分散X線分光マッピングで証明されたように,Te蓄積から生じる。これらはXRDとRaman研究からの観測と一致し,TeリッチBi_2Te_3特性をさらに確認した。TeリッチBi_2Te_3薄膜の電気的性質はn型半導体挙動を示した。堆積したままの膜のSeebeck係数は,200°Cのアニーリングで,Δλ>97μV/Kに増大する,ε′′32μV/Kである。抵抗率は1.39×10-4Ωcmから18.76×10-4Ωcmに増加し,パワーファクタは7.4×10-4W/K2mから27.17×10-4W/K2mへ変化し,系統的アニーリングで200°Cで最大となった。200°Cで焼なましたTeリッチBi_2Te_3薄膜は,広い範囲の温度勾配(30°Cから165°CまでΔT)に対して,高い力率(~29×10-4W/K2m)を示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Ramanスペクトル ,  X線回折 ,  微結晶 ,  焼なまし ,  電気抵抗率 ,  *薄膜 ,  電気的性質 ,  *テルル ,  X線回折分析 ,  多結晶 ,  結晶度 ,  N型半導体 ,  優先配向 ,  *電子ビーム蒸着
準シソーラス用語： Seebeck係数 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： テルルリッチテルル化ビスマス ,  薄膜 ,  Electronビーム堆積 ,  Beebeck係数 ,  力率

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子ビーム蒸着 ,  Te ,  薄膜 ,  光学 ,  熱電特性