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J-GLOBAL ID：202002225611373604   整理番号：20A1105112

位相測定偏向測定システムにおける空間姿勢変動の誤差表面形状とリセットの特性に関する実験的研究【JST・京大機械翻訳】

Experimental research on characteristics of error surface shape and reset of spatial attitude variations in phase measuring deflectometry system

著者 (5件)： Huang Lei (Key Laboratory of Photonic Control Technology (Tsinghua University), Ministry of Education, Beijing 100084, China) ,  Huang Lei (State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China) ,  Sun Chuang (Key Laboratory of Photonic Control Technology (Tsinghua University), Ministry of Education, Beijing 100084, China) ,  Sun Chuang (State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China) ,  Lei Ming (China Defense Science and Technology Information Center, Beijing 100142, China)
資料名： Optics Communications  (Optics Communications)
巻： 469  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： A0678B  ISSN： 0030-4018  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 位相測定偏向測定(PMD)システムにおける試験表面の空間姿勢変化(SAVs)により誘起される誤差表面形状(ESS)の特性を調べた。PMDシステムでは,ターゲットミラーの空間姿勢は,不安定性と組立構造の応力解放のために,その初期状態から逸脱する可能性がある。PMDの原理に従って,ESSをもたらすターゲットミラーの変位,ピッチ,およびヨー角のような3つのSAVsがある。本論文において,3つのSAVsによって誘発されたESSの原理を,確立されたPMDシステムに基づいて測定して,解析した。ESS特性に基づいて,二段階リセット法(TSRM)を提案して,高精度でターゲットミラーの空間姿勢をリセットした。実験結果により,PMDシステムを用いて,ターゲットミラーのSAVsを監視し,TSRMを用いて正確にリセットできることを検証した。PMDシステムの測定とアラインメント性能は,それに応じて明らかに改善される。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アラインメント ,  光学系 ,  組立構造 ,  *偏向 ,  不安定性 ,  *位相測定 ,  計測システム
準シソーラス用語： 応力解放 ,  高精度 ,  表面形状 ,  ヨー角度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 偏向測定 ,  PMD ,  表面形状 ,  空間的姿勢 ,  光学系

分類 (3件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  光学情報処理  (BD03060T) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (8件)： 位相測定 ,  偏向 ,  測定システム ,  姿勢変動 ,  誤差 ,  表面形状 ,  リセット ,  実験的研究