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J-GLOBAL ID：202002225643348359   整理番号：20A0012610

静電アーチマイクロピンセット【JST・京大機械翻訳】

Electrostatic arch micro-tweezers

著者 (6件)： Alneamy Ayman M. (Department of Systems Design Engineering, University of Waterloo, Waterloo, On, Canada) ,  Alneamy Ayman M. (Department of Mechanical Engineering, Jazan University, Jazan, Saudi Arabia) ,  Khater Mahmoud E. (Department of Mechanical Engineering, KFUPM, Dhahran, Saudi Arabia) ,  Abdel-Aziz Ahmed K. (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Waterloo, Waterloo, On, Canada) ,  Heppler Glenn R. (Department of Systems Design Engineering, University of Waterloo, Waterloo, On, Canada) ,  Abdel-Rahman Eihab M. (Department of Systems Design Engineering, University of Waterloo, Waterloo, On, Canada)
資料名： International Journal of Non-Linear Mechanics  (International Journal of Non-Linear Mechanics)
巻： 118  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0727A  ISSN： 0020-7462  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,直径14μmまでの粒子を操作するための新しい静電マイクロピンセットを提示した。ピンセットは,静電的に作動する最初に曲がったマイクロビームに取り付けられた2つのグリップアームから構成されている。それは,二つのアーム間の分離距離を閉じるために,スナップスルー不安定性から生じる双安定平衡を利用し,それらが大きな範囲の物体を把握することを可能にする。このピンセットは,静電作動によりスナップスルーポイントを超えて更なる制御を提供し,より大きな物体上の圧力を増加させるか,あるいはより小さい物体を把握する。ピンセットは絶縁体(SOI)ウエハ上にp型シリコンで作製した。Euler-Bernoulli梁理論を用いて,アームの回転慣性と静電フリンジ場を考慮した運動の支配方程式を導いた。Galerkin展開において,二つ,三つ,五つの対称モードを用いて,低次元化モデル(ROM)を開発した。有限要素モデル(FEM)も開発し,ROMを検証し,作動電圧の関数としてアーム先端の分離を研究した。5モードROMは,スナップ-ノード分岐の近傍を除いて,収束的で正確であることが分かった。著者らの解析は,ピンセットが5~12μmの範囲の直径をもつマイクロ粒子を操作することができることを示し,動作電圧範囲はスナップバック電圧100.2V,プルイン電圧153.2Vに制限された。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電圧 ,  慣性モーメント ,  ルブリケータ ,  絶縁体 ,  アーム ,  微粒子 ,  次元縮小 ,  *アーチ ,  不安定性 ,  双安定性 ,  対称性
準シソーラス用語： プルイン電圧 ,  支配方程式 ,  梁理論 ,  *ピンセット , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： アーチビーム ,  スナップスルー ,  ピンセット ,  回転慣性

分類 (4件)： 弾性力学一般  (HC02010M) ,  曲板  (HD03070K) ,  梁,桁  (HD03020H) ,  振動伝搬  (BB02040K)