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J-GLOBAL ID：202002226229896111   整理番号：20A2238212

高分解能X線測定によるMg₂Siの結晶性評価

Evaluation of crystalline quality of Mg₂Si using high resolution XRD

著者 (4件)： 鱒渕稜平 (茨城大) ,  布施雄太郎 (茨城大) ,  原嘉昭 (茨城工高専) ,  鵜殿治彦 (茨城大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.14a-A202-1  発行年： 2020年02月28日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 1.はじめに. 我々はn型のMg2Si基板結晶にAgを拡散することでpn接合フォトダイオードを作製し、カットオフ波長が約2μmの赤外受光センサを開発することに成功している[1-3]。今回、バルク結晶から反射ラウエ測定によって方位を決定し、(...【本文一部表示】

シソーラス用語： PN接合 ,  回折 ,  研磨 ,  赤外線 ,  単結晶 ,  光検出器 ,  フォトダイオード ,  銀 ,  炭化ケイ素 ,  X線源 ,  *結晶度 ,  坩堝 ,  ロッキングカーブ ,  *高分解能
準シソーラス用語： 回折パターン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  固体デバイス材料  (NC03020K) ,  半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高分解能 ,  X線 ,  結晶性 ,  評価