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J-GLOBAL ID：202002226907704276   整理番号：20A2261568

先進THz相互接続のための大気マイクロプラズマスパッタマイクロおよびナノワイヤ【JST・京大機械翻訳】

Atmospheric microplasma-sputtered micro and nanowires for advanced THz interconnects

著者 (5件)： Kombluth Yosef (Dept. of Mech. Eng.,Cambridge,MA,USA,02139) ,  Velasquez-Garcia Luis F. (Microsyst. Tech. Laboratories, Massachusetts Institute of Technology,Cambridge,MA,USA,02139) ,  Ehrenberg Isaac (The Charles Stark Draper Laboratory,Cambridge,MA,USA,02139) ,  Carter David (The Charles Stark Draper Laboratory,Cambridge,MA,USA,02139) ,  Russell Kasey J. (The Charles Stark Draper Laboratory,Cambridge,MA,USA,02139)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： IVNC  ページ： 1-2  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい大気圧マイクロスパッタを用いたTHz相互接続のためのマイクロとナノワイヤの作製と特性評価を報告する。400nmと80μmの間の直径のウィリスを,真空,特殊化雰囲気,またはワイヤ上の回転/フリッピングを必要とせずに,連続,数百nm厚,機械的に強い金膜で共形的に被覆した。14μΩ-mの低い電気抵抗率をTHzレベル信号と測定した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電気抵抗率 ,  *相互接続 ,  *金属線 ,  キャラクタリゼーション ,  *ナノワイヤ
準シソーラス用語： 金膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  医用画像処理  (JE04020T) ,  NMR一般  (BM07041R)

タイトルに関連する用語 (3件)： 相互接続 ,  大気 ,  ナノワイヤ