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J-GLOBAL ID：202002227046091317   整理番号：20A2250542

2軸Lloyd鏡干渉計による二次元周期的ナノ構造アレイの全方向研究【JST・京大機械翻訳】

Omnidirectional investigation of two-dimensional periodic nanostructure arrays by a two-axis Lloyd’s mirror interferometer

著者 (9件)： Jiang Haitao (Advanced Photonics Center, Southeast University, Nanjing 210096, Jiangsu, China) ,  Zhuang Zhe (Advanced Photonics Center, Southeast University, Nanjing 210096, Jiangsu, China) ,  Zhang Xiong (Advanced Photonics Center, Southeast University, Nanjing 210096, Jiangsu, China) ,  Li Cheng (Advanced Photonics Center, Southeast University, Nanjing 210096, Jiangsu, China) ,  Chen Hu (Advanced Photonics Center, Southeast University, Nanjing 210096, Jiangsu, China) ,  Fan Aijie (Advanced Photonics Center, Southeast University, Nanjing 210096, Jiangsu, China) ,  Chen Shuai (Advanced Photonics Center, Southeast University, Nanjing 210096, Jiangsu, China) ,  Luo Xuguang (Advanced Photonics Center, Southeast University, Nanjing 210096, Jiangsu, China) ,  Cui Yiping (Advanced Photonics Center, Southeast University, Nanjing 210096, Jiangsu, China)
資料名： Results in Physics  (Results in Physics)
巻： 18  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： W3368A  ISSN： 2211-3797  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の周期と形状を有する二次元周期的パターンを,2つの鏡が独立に回転する新しい2軸Lloyd鏡干渉計を通して調査した。偏光変調による各ナノ構造パターンの形状を含むシステム構成と対応する周期的配列におけるすべてのパラメータの関係を明らかにするために,理論モデルを作成した。周期的アレイのウエハレベル不均一性は,拡張レーザビームのサイズに依存する。最後に,システムを構築し,ナノ構造アレイを設計できる理論モデルへの容易なアクセスを提供するために,フレンドリーなユーザインタフェイスを有するソフトウェアを開発した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *干渉 ,  *干渉計 ,  レーザビーム ,  ソフトウェア ,  *二次元 ,  二軸 ,  不均一性 ,  *ナノ構造 ,  ユーザインタフェイス
準シソーラス用語： 理論モデル ,  システム構成 ,  全方向 ,  偏光変調 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Lloyd干渉計 ,  三ビーム干渉 ,  偏光変調 ,  2Dドット/ホールアレイ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 2軸 ,  干渉計 ,  ナノ構造 ,  アレイ ,  全方向 ,  研究