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J-GLOBAL ID：202002227123045891   整理番号：20A2196589

MoNbTaVW高エントロピー合金薄膜の構造と性質に及ぼす窒素含有量の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of the nitrogen content on the structure and properties of MoNbTaVW high entropy alloy thin films

著者 (8件)： Xia Ao (Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700, Leoben, Austria) ,  Dedoncker Robin (Department of Solid State Sciences, Ghent University, Krijgslaan 281(S1), 9000, Gent, Belgium) ,  Glushko Oleksandr (Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700, Leoben, Austria) ,  Glushko Oleksandr (Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, Jahnstrasse 12, 8700, Leoben, Austria) ,  Cordill Megan J. (Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700, Leoben, Austria) ,  Cordill Megan J. (Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, Jahnstrasse 12, 8700, Leoben, Austria) ,  Depla Diederik (Department of Solid State Sciences, Ghent University, Krijgslaan 281(S1), 9000, Gent, Belgium) ,  Franz Robert (Department of Materials Science, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700, Leoben, Austria)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 850  ページ： Null  発行年： 2021年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 耐火物(MoNbTaVW)_1-xN_x高エントロピー合金薄膜の化学組成,構造,機械的,電気的性質に及ぼす窒素導入の影響を調べた。膜を,シリコンおよびポリイミド基板上に,2つの異なる物理蒸着法,陰極アーク蒸着および直流マグネトロンスパッタリングにより合成した。堆積法に関係なく,膜内の窒素量の増加に伴い,体心立方から面心立方構造への変化が観察された。この構造変化は,ナノインデンテーションによって測定される硬度の増加を伴ったが,引張歪試験から決定した材料脆化によっても伴った。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 化学組成 ,  *薄膜 ,  電気的性質 ,  ケイ素 ,  *窒素 ,  ポリイミド ,  耐火物 ,  脆化 ,  スパッタ蒸着
準シソーラス用語： アークイオンプレーティング ,  引張歪 ,  構造変化 ,  FCC構造 ,  DCマグネトロンスパッタリング ,  *高エントロピー合金 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 薄膜 ,  高エントロピー合金 ,  耐火性金属 ,  アーク蒸発 ,  スパッタ蒸着 ,  フラグメンテーション試験

分類 (2件)： 機械的性質  (WB02030U) ,  変態組織,加工組織  (WB01030N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高エントロピー合金 ,  薄膜 ,  性質 ,  窒素含有量