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J-GLOBAL ID：202002227176885367   整理番号：20A0650297

ピケットフォーム片持梁の固有値と動的剛性【JST・京大機械翻訳】

Eigenvalues and dynamic stiffness of picket-shaped cantilevers

著者 (1件)： Mahmoud M.A. (Professor of Mechanical Engineering (Retired) 1222 Willow Point Dr, Murphy, Tx 75094, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 304  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 広い範囲のテーパ比と先端質量比に対して,ピックアップ形状マイクロカンチレバーの固有値と動的剛性をカバーする包括的データセットを提示した。これらのマイクロカンチレバーの形状は,ほとんどの長さが一様な断面であり,梁の端部が自由端の点に幅が広がっていることである。この構成はMEMSデバイスに広く使われている。固有値および静的および動的剛性に対する閉形式表現を提示した。これらの表現は,一般的にMEMS分野における設計者と研究者,特に原子間力顕微鏡を助けることができた。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 原子間力顕微鏡 ,  ばね定数 ,  MEMS ,  *梁 ,  共鳴 ,  *固有値 ,  *片持梁
準シソーラス用語： 閉形式 ,  自由端 ,  マイクロカンチレバー ,  質量比 ,  テーパ ,  *動剛性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (8件)： ばね定数 ,  動的剛性 ,  テーパ付き片持梁 ,  MEMS ,  原子間力顕微鏡 ,  キャリブレーション ,  振動 ,  共鳴

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： フォーム ,  片持梁 ,  固有値 ,  動的剛性