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J-GLOBAL ID：202002227274805589   整理番号：20A1298821

Zr_1-xAl_xNの相変態により誘起された微細構造,機械的および酸化的性質の遷移

Transition in Microstructure, Mechanical and Oxidational Properties Induced by Phase Transformation of Zr_1-XAl_XN

著者 (4件)： SO Chisato (Saga Univ.) ,  CHUGANJI Koki (Saga Univ.) ,  KITAMIKA Yudai (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ.) ,  HASEGAWA Hiroyuki (Saga Univ.)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 71  号： 6  ページ： 418-422  発行年： 2020年06月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,耐摩耗性コーティングとしての使用の必要条件を考慮して,Zr_1-xAl_xN膜の微細構造,微小硬さ,トライボロジー特性,および酸化挙動を評価した。(ZrN)_1-X-Al_Xターゲットからの高周波マグネトロンスパッタリングによって,Zr_1-xAl_xN膜を合成した。X線回折分析より,X=0.12のとき,Zr_1-xAl_xN膜が立方晶相を有し,X=0.26のとき,立方晶相と六方晶相の混合相に変換されることが分かった。Zr_0.88Al_0.12Nは,平均摩擦係数が0.3~0.5,最小摩耗深さが0.4μmであった。Zr_1-xAl_xNの微小硬さは,X=0.12の36.5GPaからX=0.43の16.9GPaに減少した。動的酸化中,示差熱分析曲線の発熱ピークは,X=0.12の730°CからX=0.43の835°Cにシフトした。この挙動と一致して,Zr_0.57Al_0.43Nの熱重量分析で測定した質量増加は,600~700°Cの範囲の等温酸化温度で最小値を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ジルコニウム化合物 ,  窒化物 ,  アルミニウム ,  ドーピング ,  *耐摩耗性 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  微細構造 ,  微小硬さ ,  トライボロジー ,  *相変態 ,  *酸化 ,  立方晶系 ,  六方晶系 ,  発熱 ,  質量分析 ,  摩擦係数 ,  *セラミック被覆
準シソーラス用語： 混合相 ,  耐摩耗性コーティング ,  窒化ジルコニウム

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 相変態 ,  誘起 ,  微細構造 ,  酸化 ,  性質 ,  遷移