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J-GLOBAL ID：202002227542184224   整理番号：20A0270668

半導体薄膜を用いた花粉検出のための新しい電導度センサ【JST・京大機械翻訳】

Novel Conductometric Sensor for Detecting Pollen Using Semiconductor Thin-Film

著者 (3件)： Horiuchi Ren (Tokyo Denki University,Graduate School of Engineering,Tokyo,Japan,120-8551) ,  Yamaguchi Tomiharu (Tokyo Denki University,Graduate School of Engineering,Tokyo,Japan,120-8551) ,  Hara Kazuhiro (Tokyo Denki University,Graduate School of Engineering,Tokyo,Japan,120-8551)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： SENSORS  ページ： 1-4  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,花粉のような有機浮遊粒子を検出するための新しい伝導率センサを示した。センシング膜は有機浮遊粒子に敏感なZnOベース膜から成っていた。集積回路作製プロセスと薄膜技術により作製した。センサの抵抗は表面上の花粉粒の接着後に急速に減少し,その後徐々に元の値に回復した。本研究は抵抗減少の大きさが粒子サイズに依存することを明らかにした。結果は,抵抗変化の大きさから花粉の種類の同定の可能性を意味する。著者らの研究はまた,ZnOベース膜を用いたセンサのガスへの交差感度がSnO_2ベース膜を用いたものより低いことを明らかにした。原理的に,抵抗変化は化学吸着酸素と花粉の反応から生じる。花粉中に含まれる炭素と水素原子はO-のような化学吸着酸素種と反応し,半導体薄膜中に捕捉された電子を放出し,センサ抵抗を減少させる。したがって,開発したセンサは,花粉の小型,軽量,安価な監視装置として使用できる。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 浮遊粒子状物質 ,  *半導体薄膜 ,  酸化亜鉛 ,  酸素 ,  *電気伝導率 ,  化学吸着 ,  粒度 ,  監視装置 ,  集積回路 ,  センサ ,  *花粉 ,  接着 ,  炭素
準シソーラス用語： 低価格 ,  抵抗変化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 半導体薄膜 ,  花粉 ,  電導度