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J-GLOBAL ID：202002227746837339   整理番号：20A0589353

CNC研磨におけるエッジ効果を抑制するための表面伸長プロセス技術に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Research on surface extension process technology for restraining edge effect in CNC polishing

著者 (5件)： Huang Jinyong (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China)) ,  Hu Qing (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China)) ,  Xie Lei (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China)) ,  Ma Ping (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China)) ,  Yan Dingyao (Chengdu Fine Optical Engineering Research Ctr. (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11427  ページ： 114270C-6  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CNC研磨におけるエッジ効果の改善を目的とした。表面拡張に基づく新しい研磨法を提案した。基本的アイデアとワークフローを提示した。この方法の有効性をシミュレーションにより検証した。実験的研究は,420mm×420mm口径の石英光学素子について行った。実験結果により,本方法は,崩壊および反り端部表面を抑制することができた。小規模平滑化技術を組み合わせることにより,λ/3以下のPV,7.7nm以下のGRMS,1.8nm未満のPSD1を得ることができた。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 平滑化 ,  光学素子 ,  石英 ,  有効性 ,  *研磨 ,  ワークフロー ,  縁効果

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  研削  (QC03000R) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： CNC ,  研磨 ,  エッジ効果 ,  プロセス ,  研究