ナノ構造ヒドロゲルに基づく高速光湿度センサ【JST・京大機械翻訳】

Cesnik Stefan; Coclite Anna M.; Perrotta Alberto; Cian Alessandro; Tormen Massimo; Bergmann Alexander

文献

J-GLOBAL ID：202002227787161885 整理番号：20A2293274

ナノ構造ヒドロゲルに基づく高速光湿度センサ【JST・京大機械翻訳】

Fast optical humidity sensor based on nanostructured hydrogels

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資料名：
巻： 11467 ページ： 114672K-6 発行年： 2020年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

本研究の目的は,光読出しベース湿度センサの応答時間を改善することである。したがって,著者らは,開始化学蒸着(iCVD)によって堆積された薄膜へのナノインプリントリソグラフィー(NIL)の適用を提示する。ヒドロゲルは,特定の物理的条件変化後に膨潤する能力を有する高分子ネットワークであり,光学デバイスのセンシング層として非常に有用である。第一段階では,サファイア基板上に平面薄膜として湿度応答性ヒドロゲル(ここではpHEMA)を堆積するためにiCVDを使用した。有効表面積を増加させるため,有望な結果を有するヒドロゲル薄膜上に初めてNILを試み,SEMによる特性化は,NILが高感度ヒドロゲル薄膜を損なうことなくナノ構造の大きな均一領域の設計を可能にし,周囲条件で大きな安定性を有することを示した。第2に,NILは,要求された応用に基づくナノ構造の異なる形状およびサイズを構築する利点を提供する。最初のテストでは,センサ原理として光学検出法と組み合わせた簡単な線アレイ構造を選択した。波長比に対する特定の構造を選択することにより,インプリントナノ構造は,効果的なセンシング面積を増加させることにより高速応答時間を可能にする回折格子として作用する。著者らの応用では,ヒドロゲルがセンシング要素として働き,一次回折ピークの強度を測定することにより湿度依存性挙動を観察した。最後に,応答時間は,市販の湿度センサよりも光学的検出法を用いて非常に速かった。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

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分析機器 , 固体デバイス製造技術一般 , 湿度測定,湿度計

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