文献

J-GLOBAL ID：202002227797151546   整理番号：20A2238425

2面斜入射対物ミラー設計解の大域的探索(4)

Global Optimization Technique of Two-Glazing-Incidence-Mirror Objective for Soft-X-ray Focusing Applications (4)

著者 (3件)： 山下正汰 (東京工芸大 大学院) ,  CHEN J. (東京工芸大 大学院) ,  豊田光紀 (東京工芸大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.14a-B508-7  発行年： 2020年02月28日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 高次高調波など先端の軟X線光源の利用では、直径が数mmの平行ビームを100nm以下のビーム径に集光する対物光学系が必要となる。我々は、2面の斜入射多層膜ミラー(斜入射角20-30°)からなる、対物光学系の開発を進めている。これまでの研究で...【本文一部表示】

シソーラス用語： 球面収差 ,  屈折 ,  光源 ,  *収差 ,  軟X線 ,  等高線 ,  光学系 ,  高調波 ,  近似法 ,  焦点距離 ,  光子ビーム ,  ソフトウェア ,  集光 ,  光学設計 ,  スポットサイズ ,  ビーム

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 斜入射 ,  ミラー ,  設計 ,  解 ,  探索